Flexfilm文章

• 椭偏仪薄膜测量原理和方法：光学模型建立和仿真2025-08-15 18:01

  

  椭偏技术是一种非接触式、高精度、多参数等光学测量技术，是薄膜检测的最好手段。本文以椭圆偏振基本原理为基础，重点介绍了光学模型建立和仿真，为椭偏仪薄膜测量及误差修正提供一定的理论基础。费曼仪器作为国内领先的薄膜材料检测解决方案提供商，致力于为全球工业智造提供精准测量解决方案。其中Flexfilm全光谱椭偏仪可以精确量化薄膜的折射率、消光系数及厚度参数。1椭圆偏

  光学模组 测量 薄膜 5012浏览量

• 台阶仪表征MEMS压力传感器硅槽刻蚀：TMAH80℃下薄膜良率达到92.67%2025-08-13 18:05

  

  当前MEMS压力传感器在汽车、医疗等领域的应用广泛，其中应力敏感薄膜的厚度是影响传感器性能的关键一，因此刻蚀深度合格且均匀性良好的薄膜至关重要。费曼仪器作为薄膜测量技术革新者，致力于为全球工业智造提供精准测量解决方案。Flexfilm探针式台阶仪进行刻蚀深度测试，进行表面粗糙度、表面形貌及均匀性的调控，直接支撑刻蚀深度与均匀性的精准评估。本研究聚焦四甲基氢氧

  mems 传感器 压力传感器 1183浏览量

• 椭偏仪与DIC系统联用测量半导体超薄图案化SAM薄膜厚度与折射率2025-08-11 18:02

  

  超薄膜的表征技术对确定半导体薄膜材料（如金属、金属氧化物、有机薄膜）的最佳性能至关重要。本研究提出将微分干涉相衬DIC系统与椭偏仪联用表征超薄图案化自组装单分子膜（SAM）：通过DIC实时提供高对比度图像指导测量位置，结合改进的椭偏分析模型，实现对图案化SAM薄膜厚度与折射率的高精度无损表征。费曼仪器薄膜厚度测量技术贯穿于材料研发、生产监控到终端应用的全流程

  dic 半导体 测量 1266浏览量

• 台阶仪测量膜厚：揭示氢离子迁移对磁性薄膜磁性的调控规律2025-08-08 18:03

  

  磁性薄膜材料是电子器件小型化的基础，被广泛应用在生物、化学、环境和计算机等领域。本文聚焦电场驱动的氢离子（H⁺）调控磁性薄膜的磁性，对Pt/Co、Pt/CoFe、Pt/CoFeB、Pt/FeNi结构薄膜中利用H⁺驱动的磁性调控进行探索研究。费曼仪器致力于为全球工业智造提供提供精准测量解决方案，Flexfilm探针式台阶仪可以精确测量磁控溅射技术制备多种磁性薄

  测量 电子器件 薄膜 1665浏览量

• 椭圆偏振光谱仪：半导体、聚合物和生物传感器材料领域的应用综述2025-08-06 18:02

  

  椭圆偏振光谱仪(SE)，简称椭偏仪以其非破坏性和非接触性、高精度和高灵敏度、原位测量能力以及广泛的适用性等技术优势,在材料科学、半导体物理、微电子学等领域发挥着重要作用。椭偏仪精确测量薄膜的厚度、光学带隙、折射率、消光系数、薄膜组成、界面和表面粗糙度等特征，对于理解薄膜的光学性能、电学性能以及机械性能至关重要。费曼仪器作为国内领先的薄膜材料检测解决方案提供商

  传感器 光谱仪 半导体 2225浏览量

• 汽车玻璃透过率的精准测量：优化前挡风玻璃膜的透光率与隔热性能2025-08-04 18:02

  

  前挡风玻璃是影响汽车采光、热舒适与空调能耗的重要因素。太阳光透过汽车玻璃使汽车内部温度升高，不仅造成车内设施老化加快，同时也增大了汽车空调负荷和油耗。费曼仪器为汽车玻璃提供专业的光学特性（透射率、反射率等）分析的，其中Flexfilm汽车玻璃透过率检测仪通过对汽车玻璃透光率进行检测，为开发在紫外线、红外线光谱范围内透过率小，而在可见光范围内透过率大的透光隔热

  汽车 测量 2806浏览量

• 台阶仪在半导体制造中的应用 | 精准监测沟槽刻蚀工艺的台阶高度2025-08-01 18:02

  

  在半导体制造中，沟槽刻蚀工艺的台阶高度直接影响器件性能。台阶仪作为接触式表面形貌测量核心设备，通过精准监测沟槽刻蚀形成的台阶参数（如台阶高度、表面粗糙度），为工艺优化提供数据支撑。Flexfilm费曼仪器致力于为全球工业智造提供提供精准测量解决方案，Flexfilm探针式台阶仪可以在半导体沟槽刻蚀工艺的高精度监测研究通过校准规范、误差分析与标准样板定值，实现

  半导体 器件 监测 1385浏览量

• 椭偏仪在半导体薄膜工艺中的应用：膜厚与折射率的测量原理和校准方法2025-07-30 18:03

  

  半导体测量设备主要用于监测晶圆上膜厚、线宽、台阶高度、电阻率等工艺参数，实现器件各项参数的准确控制，进而保障器件的整体性能。椭偏仪主要用于薄膜工艺监测，基本原理为利用偏振光在薄膜上、下表面的反射，通过菲涅尔公式得到薄膜参数与偏振态的关系，计算薄膜的折射率和厚度。Flexfilm费曼仪器作为薄膜测量技术革新者，致力于为全球工业智造提供精准测量解决方案，公司自主

  半导体 测量 监测 1733浏览量

• 台阶仪测试原理及应用 | 半导体ZnO薄膜厚度测量及SERS性能研究2025-07-28 18:04

  

  表面增强拉曼散射SERS技术在痕量检测中具有独特优势，但其性能依赖于活性基底的形貌精度。ZnO作为一种新型半导体薄膜材料，因其本征微米级表面粗糙度通过在其表面覆盖一层贵金属Au，能够大大地提升SERS活性。而ZnO膜厚直接影响Au纳米颗粒的分布与"热点"形成。Flexfilm费曼仪器提供精准的膜厚测试，其中Flexfilm探针式台阶仪覆盖纳米至微米级薄膜的精

  半导体 测试 测量 1222浏览量

• 全光谱椭偏仪在二维材料中的应用 | 解析PtSe₂光学常数厚度依赖关系2025-07-25 18:02

  

  过渡金属硫化物（TMDs）的厚度可调能带结构使其在光电子领域备受关注。PtSe₂作为新型层状材料，具有从半导体到半金属的相变特性，带隙可调控。然而，其精确光学常数数据长期缺失，制约器件优化。椭圆偏振仪凭借亚纳米级精度、无损测量及同步获取膜厚与光学参数的优势，成为解决该问题的关键手段。Flexfilm费曼仪器作为国内领先测量供应商所提供的Flexfilm全光谱

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