Flexfilm文章

• 一文读懂高精度衍射光学分束器的光刻制备、工艺优化与表征分析2026-03-16 18:06

  

  衍射光学分束器的性能表现，既依赖于优化的仿真设计方案，也深受材料选择与加工工艺的影响。当前相关研究多聚焦于通过理论仿真和设计优化追求高性能，而针对加工误差对器件性能影响的探索相对薄弱。光刻技术作为半导体加工领域的高精度核心技术，能够通过精细调节工艺参数，精准控制光致聚合物的折射率与高度，且适配衍射光学分束器的规模化制造需求。该技术可在单步加工中完成器件结构成

  光刻 光学 半导体 1992浏览量

• SU-8光刻胶的光学特性研究：190-1680nm波段的光谱椭偏分析2026-03-13 18:02

  

  SU-8是一种在微纳加工领域应用广泛的环氧基负性光刻胶，因其能够制备高深宽比微结构而备受关注，在微机电系统、光波导和生物医学器件等领域具有重要价值。准确掌握其光学常数（折射率n和消光系数k）对于器件设计与工艺优化至关重要。然而，现有研究多集中于有限波段（300-800nm），且缺乏系统的测量与建模，难以满足宽光谱应用的需求。Flexfilm费曼仪器全光谱椭偏

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• 台阶仪常见问题解答：原理、精度与薄膜厚度测量方法2026-03-11 18:03

  

  在半导体制造、微纳结构加工以及薄膜材料研究中，表面形貌和台阶高度测量是基础而重要的表征手段。随着薄膜工艺向纳米尺度发展，对测量设备的精度与稳定性提出了更高要求。台阶仪作为一种成熟的表面轮廓测量设备，被广泛应用于薄膜厚度测量、台阶高度检测以及表面粗糙度分析等领域。本文基于这些技术文献，对台阶仪的常见问题进行系统梳理，并结合实际应用说明其在薄膜厚度测量中的作用。

  测量 测量设备 薄膜 485浏览量

• 光谱椭偏术在二维材料光学表征中的应用：从石墨烯到TMDs2026-03-09 18:03

  

  二维材料（如石墨烯和过渡金属二硫族化物）在单层极限下展现出与体块形式截然不同的优异光电特性，例如MoS₂和WS₂从间接带隙到直接带隙的转变，以及由其介电函数描述的强激子响应，使其成为下一代光电子器件的理想候选材料。然而，精确表征这些原子级薄材料面临巨大挑战：其光相互作用路径极短导致传统光学技术灵敏度不足，同时其激子态对外部扰动（如衬底、合成方法和温度）高度敏

  二维材料 光谱 石墨烯 635浏览量

• 台阶仪vs.白光干涉：薄膜厚度测量技术选型指南2026-03-06 18:05

  

  在半导体制造、光伏电池、MEMS器件以及先进薄膜材料研发过程中，薄膜厚度与表面形貌的精确测量是质量控制和工艺优化的关键环节。当前工业与科研领域广泛使用的两种表面轮廓测量技术，分别是接触式台阶仪和白光干涉仪。两者在测量原理、适用材料、分辨率以及应用场景方面存在显著差异。本文将从测量原理、测量能力、适用场景及典型应用等方面，对这两种技术进行系统对比。Flexfi

  测量 白光干涉仪 薄膜 447浏览量

• 椭偏仪在先进金属Au薄膜表征中的应用：光学常数反演与多层结构建模分析2026-03-04 18:10

  

  随着柔性光电器件的快速发展，传统ITO(氧化铟锡)透明导电薄膜因其本征脆性和波段局限性，难以满足下一代柔性电子产品对短波红外波段的应用需求。金(Au)因其优异的延展性和导电性能成为理想的替代材料。Flexfilm费曼仪器全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精度表征，广泛应用于薄膜材料、半导体和表面科学等领域。本文系统研究了在0.4μm~2.5μm波

  仪器 光电器件 电阻 523浏览量

• 台阶仪在轻质PET@Cu复合集流体制备的应用2026-03-02 18:03

  

  锂离子电池的能量密度提升对其在便携电子、电动汽车和储能系统的应用至关重要。集流体作为电池中承载活性材料并传导电流的部件，其质量和导电性直接影响电池性能。传统铜箔集流体密度大，限制了能量密度的进一步提高。复合集流体采用“金属-聚合物-金属”结构，以PET等高分子薄膜为基底，沉积薄铜层，可实现轻量化。Flexfilm费曼仪器探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准

  测量 电池 锂离子电池 487浏览量

• 台阶仪应用丨电子束蒸镀与磁控溅射铝膜的厚度与均匀性对比研究2026-02-25 18:04

  

  铝因其优异的导电性、良好的延展性和低成本，广泛应用于芯片内部的金属互连层。电子束蒸发与磁控溅射是两种主流的铝膜沉积技术。以往国内研究多认为磁控溅射制备的铝膜性能优于电子束蒸发，但相关研究多采用石墨坩埚，存在熔融铝与坩埚浸润、蒸镀速率低、膜层疏松等问题。Flexfilm费曼仪器探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的表面台

  仪器 溅射系统 电子束 549浏览量

• 基于椭偏光谱法研究不同基底对TiO₂/SiO₂薄膜光学常数的影响2026-02-13 18:01

  

  椭偏仪作为表征光学薄膜性能的核心工具，在光学薄膜领域具有不可替代的作用。本研究聚焦基底类型（K9玻璃、石英玻璃、单晶硅）对溶胶-凝胶法制备的TiO₂和SiO₂薄膜光学性能的调控机制。Flexfilm费曼仪器作为国内领先的薄膜材料检测解决方案提供商，致力于为全球工业智造提供精准测量解决方案。其中Flexfilm全光谱椭偏仪可以精确量化薄膜的折射率、消光系数及厚

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• 台阶仪在PET复合集流体铝层厚度与表面形貌分析中的应用2026-02-11 18:05

  

  随着新能源汽车与储能产业的快速发展，锂离子电池对轻量化、高安全集流体的需求日益迫切。传统金属箔集流体重量大、在热失控中风险高。复合集流体采用“金属-高分子-金属”三明治结构，在减轻重量、提升安全性和能量密度方面优势显著，其中PET因高拉伸强度、良好热稳定性与低成本成为研究重点，但其非极性表面与铝层界面结合力弱，易在电解液浸润与充放电过程中发生剥离。Flexf

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