Flexfilm文章

• 光刻胶涂层如何实现纳米级均匀性？椭偏仪的工艺控制与缺陷分析2026-02-09 18:01

  

  光刻胶（亦称光致抗蚀剂）是集成电路制造中的关键材料，其纯度直接决定光刻图形的质量与芯片良率。随着光刻技术向极紫外（EUV，13.5 nm）工艺节点演进，光刻胶的膜厚均匀性、光学常数稳定性及缺陷控制要求日益严格，Flexfilm费曼仪器全光谱椭偏仪作为一种非接触、高精度的光学薄膜表征工具，在光刻胶工艺段中发挥着关键的监控与优化作用，尤其与材料纯化工艺相辅相成，

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• 台阶仪在复合集流体工艺质量中的应用：镀层厚度与均匀性监控及界面结合性能表征2026-02-06 18:02

  

  锂离子电池在新能源汽车、储能系统等领域广泛应用，但能量密度与安全性之间的矛盾日益突出。集流体作为电池内部电子传输的关键载体，其性能直接影响电池整体表现。传统电解铜箔虽导电性好，但存在安全性低、重量大等局限。复合铜集流体通过"金属层-高分子支撑层-金属层"三层结构设计，以轻量化（铜用量减少50%以上）显著提升锂离子电池能量密度，以纵向断裂与横向绝缘特性可阻断热

  电池 电解 锂离子电池 2844浏览量

• 锂离子电池高性能负极结构化复合集流体综述2026-02-04 18:03

  

  锂离子电池（LIBs）的性能极大程度依赖于其内部电子传导的骨架—集流体。传统平面金属箔集流体因界面结合弱、无法缓冲电极材料体积膨胀等固有缺陷，已成为制约电池能量密度、循环寿命及安全性的关键瓶颈。为此，结构化集流体通过精心的表面与体相结构设计，为上述问题提供了系统性解决方案。Flexfilm探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测

  电极 锂离子电池 3025浏览量

• 台阶仪在ZnO/Au复合薄膜表征中的应用：膜厚精确测量与表面形貌分析2026-02-02 18:04

  

  为应对食品中非法添加致癌染料罗丹明B（RhB）的检测难题，传统色谱、质谱等方法虽准确但存在操作繁琐、成本高且难以实现快速现场微量检测的局限。表面增强拉曼光谱（SERS）技术因具备高灵敏度与分子“指纹”识别能力，为痕量分析提供了新途径。Flexfilm探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的表面台阶高度与膜厚，为材料质量把

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• 台阶仪在含S²⁻环境中的应用：量化TC4钛合金腐蚀磨损耦合损伤2026-01-28 18:05

  

  TC4钛合金虽因其优异的综合性能广泛应用于海洋工程装备，但在实际服役中，尤其在深海热液区、工业污染区等含硫离子(S²⁻)的特殊海水环境中，材料表面同时遭受机械磨损与电化学腐蚀的协同作用，导致其失效速率显著高于单一损伤工况，严重威胁构件服役安全。究其根源，S²⁻作为一种强还原性介质，会破坏钛合金表面赖以耐蚀的钝化膜，可能引发“腐蚀-磨损”的耦合加速损伤，然而目

  测试 表面轮廓仪 731浏览量

• 椭偏仪在Al₂O₃光波导材料中的应用：基于200mmCMOS工艺的低损耗集成技术2026-01-26 18:03

  

  集成光子学的发展推动着信息处理与传感技术的革新，但其广泛应用受制于一个核心矛盾：不同应用场景需要工作在特定波长的光，而主流光子材料平台难以在紫外至可见光全波段同时实现低损耗与CMOS工艺兼容。具体而言，硅材料在紫外波段损耗高、透明窗口有限；新兴的氮化硅平台在蓝光与紫外区域的损耗也显著上升。然而，量子信息处理（如离子阱量子比特操控）和高端传感（如紫外拉曼光谱）

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• 台阶仪在PET复合膜中的应用：非晶ZnO膜厚测量与界面效应表征2026-01-23 18:02

  

  在材料科学研究中，特别是涉及低维材料与氧化物复合的薄膜体系，界面的微观结构与形貌直接影响其宏观光电性能。精确表征薄膜的厚度与表面形貌是连接制备工艺与性能分析的基础环节。Flexfilm探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的表面台阶高度与膜厚，为材料质量把控和生产效率提升提供数据支撑。本研究采用真空热蒸发技术在柔性PET

  测量 膜厚 495浏览量

• 椭偏仪在AR光学薄膜制备中的应用：高折射率与膜厚测量2026-01-21 18:11

  

  随着增强现实（AR）技术在消费电子、医疗及工业等领域的快速发展，市场对高性能光学元件的需求日益迫切。高折射率光学组件是实现设备轻薄化、扩大视场、提升沉浸感的关键。金属氧化物虽具有高折射率、高透过率和良好的稳定性，是理想材料，但其传统制造方法——如气相沉积工艺复杂、成本高昂，溶胶-凝胶法则需高温处理，易导致基板不匹配、表面缺陷等问题，严重制约了AR光学元件的规

  Ar 测量 薄膜 488浏览量

• 台阶仪在QLED的应用：分子前体溶液法制备的金属硫化物薄膜形貌与厚度表征2026-01-19 18:01

  

  量子点发光二极管（QLED）作为新一代显示与照明技术，其性能高度依赖于电子传输层（ETL）与空穴注入层（HIL）的材料特性。传统有机材料及某些过渡金属氧化物（如ZnO、MoO₃）由于电阻率高、空穴浓度低等限制，性能提升有限。金属硫化物具有组成多样、带隙可调、导电性良好等优势，在光电器件中展现出巨大潜力。Flexfilm探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表

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• 光刻胶液体吸收行为的椭圆偏振对比研究2026-01-16 18:04

  

  在浸没式光刻技术中，为提升分辨率而在镜头与晶圆间引入液体介质（如去离子水或高折射率液体），却引发了光刻胶与液体间复杂的物理化学相互作用，成为制约工艺稳定性的关键问题。光刻胶在接触水后会发生吸水膨胀，导致厚度显著增加（约7%）并伴随折射率下降（约-0.4%），且吸水行为受胶体年龄与后处理工艺影响，在表面呈现非均匀分布。此外，液体还可能萃取光刻胶中的光酸产生剂等

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