Flexfilm文章

• 台阶仪测量膜厚的方法改进：通过提高膜厚测量准确性优化镀膜工艺2025-08-25 18:05

  

  随着透明与非透明基板镀膜工艺的发展，对膜层厚度的控制要求日益严格。台阶仪作为一种常用的膜厚测量设备，在实际使用中需通过刻蚀方式制备台阶结构，通过测量台阶高度进行膜层厚度测量。费曼仪器致力于为全球工业智造提供提供精准测量解决方案，Flexfilm探针式台阶仪可以精确多种薄膜样品的薄膜厚度。然而，刻蚀过程中若边界处理不佳，会导致台阶不平行、测量误差大、重现性差等

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• 椭偏仪在OLED中的应用丨多层薄膜纳米结构的各膜层厚度高精度提取2025-08-22 18:09

  

  在OLED显示器中的多层超薄膜叠加结构的椭偏测量应用中，需要同时提取多层超薄膜堆栈各层薄膜厚度值，而膜层与膜层间的厚度也会有强耦合性会导致测量的不确定性增加。某些膜层对总体测量数据的灵敏度也极低，导致部分膜层厚度测量结果偏离真实值。对此本文构建了一套针对超薄膜椭偏测量灵敏度和唯一性评估模型，应用于超薄膜待测参数高精度的提取，并结合在国内领先测量供应商费曼仪器

  OLED 显示器 测量 718浏览量

• 台阶仪1分钟测半导体激光芯片Smile值，实测16组LDA芯片误差<1μm2025-08-20 18:02

  

  半导体激光阵列LDA芯片作为大功率半导体激光器的核心部件，其封装质量直接决定了半导体激光器的可靠性。本文采用Flexfilm探针式台阶仪结合探针扫描法测量Smile效应，能够对LDA芯片批量化封装的生产过程中芯片Smile效应进行实时的在线监测，从而保障封装工艺的稳定性，提高封装良品率。1Smile效应抑制flexfilm半导体激光阵列器件工作时，各个发光单

  LDA 半导体 半导体激光芯片 1384浏览量

• 汽车玻璃透光率≥70%的隔热膜制备：优化工艺参数提升透光与隔热性能2025-08-18 18:02

  

  汽车玻璃作为汽车的重要组成部分直接影响驾乘舒适度。汽车玻璃隔热膜需满足前挡风玻璃可见光透过率≥70%（国标要求），同时具备高红外阻隔率。本文基于磁控溅射技术，在玻璃基底上制备TiO₂/Ag/TiO₂三层结构隔热膜，通过优化工艺参数提升光学与隔热性能，满足节能环保需求。费曼仪器在汽车工业领域从研发、生产到质检的全流程中均有严格监控。Flexfilm汽车玻璃透过

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• 椭偏仪薄膜测量原理和方法：光学模型建立和仿真2025-08-15 18:01

  

  椭偏技术是一种非接触式、高精度、多参数等光学测量技术，是薄膜检测的最好手段。本文以椭圆偏振基本原理为基础，重点介绍了光学模型建立和仿真，为椭偏仪薄膜测量及误差修正提供一定的理论基础。费曼仪器作为国内领先的薄膜材料检测解决方案提供商，致力于为全球工业智造提供精准测量解决方案。其中Flexfilm全光谱椭偏仪可以精确量化薄膜的折射率、消光系数及厚度参数。1椭圆偏

  光学模组 测量 薄膜 3750浏览量

• 台阶仪表征MEMS压力传感器硅槽刻蚀：TMAH80℃下薄膜良率达到92.67%2025-08-13 18:05

  

  当前MEMS压力传感器在汽车、医疗等领域的应用广泛，其中应力敏感薄膜的厚度是影响传感器性能的关键一，因此刻蚀深度合格且均匀性良好的薄膜至关重要。费曼仪器作为薄膜测量技术革新者，致力于为全球工业智造提供精准测量解决方案。Flexfilm探针式台阶仪进行刻蚀深度测试，进行表面粗糙度、表面形貌及均匀性的调控，直接支撑刻蚀深度与均匀性的精准评估。本研究聚焦四甲基氢氧

  mems 传感器 压力传感器 631浏览量

• 椭偏仪与DIC系统联用测量半导体超薄图案化SAM薄膜厚度与折射率2025-08-11 18:02

  

  超薄膜的表征技术对确定半导体薄膜材料（如金属、金属氧化物、有机薄膜）的最佳性能至关重要。本研究提出将微分干涉相衬DIC系统与椭偏仪联用表征超薄图案化自组装单分子膜（SAM）：通过DIC实时提供高对比度图像指导测量位置，结合改进的椭偏分析模型，实现对图案化SAM薄膜厚度与折射率的高精度无损表征。费曼仪器薄膜厚度测量技术贯穿于材料研发、生产监控到终端应用的全流程

  dic 半导体 测量 627浏览量

• 台阶仪测量膜厚：揭示氢离子迁移对磁性薄膜磁性的调控规律2025-08-08 18:03

  

  磁性薄膜材料是电子器件小型化的基础，被广泛应用在生物、化学、环境和计算机等领域。本文聚焦电场驱动的氢离子（H⁺）调控磁性薄膜的磁性，对Pt/Co、Pt/CoFe、Pt/CoFeB、Pt/FeNi结构薄膜中利用H⁺驱动的磁性调控进行探索研究。费曼仪器致力于为全球工业智造提供提供精准测量解决方案，Flexfilm探针式台阶仪可以精确测量磁控溅射技术制备多种磁性薄

  测量 电子器件 薄膜 1000浏览量

• 椭圆偏振光谱仪：半导体、聚合物和生物传感器材料领域的应用综述2025-08-06 18:02

  

  椭圆偏振光谱仪(SE)，简称椭偏仪以其非破坏性和非接触性、高精度和高灵敏度、原位测量能力以及广泛的适用性等技术优势,在材料科学、半导体物理、微电子学等领域发挥着重要作用。椭偏仪精确测量薄膜的厚度、光学带隙、折射率、消光系数、薄膜组成、界面和表面粗糙度等特征，对于理解薄膜的光学性能、电学性能以及机械性能至关重要。费曼仪器作为国内领先的薄膜材料检测解决方案提供商

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• 汽车玻璃透过率的精准测量：优化前挡风玻璃膜的透光率与隔热性能2025-08-04 18:02

  

  前挡风玻璃是影响汽车采光、热舒适与空调能耗的重要因素。太阳光透过汽车玻璃使汽车内部温度升高，不仅造成车内设施老化加快，同时也增大了汽车空调负荷和油耗。费曼仪器为汽车玻璃提供专业的光学特性（透射率、反射率等）分析的，其中Flexfilm汽车玻璃透过率检测仪通过对汽车玻璃透光率进行检测，为开发在紫外线、红外线光谱范围内透过率小，而在可见光范围内透过率大的透光隔热

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