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光刻机是干什么用的

工程师 来源:未知 作者:姚远香 2019-03-14 14:12 次阅读
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首先我们来看一个最简单的电路,就是下面这张图,里面是一个电池、一个开关、一个灯泡,用电线连起来之后就是一个简单电路。对于一个哪怕没有上过物理课的人,只要给他材料,简单教他一下,他就可以搭建出来这个电路。

上面这个是最简单的电路,那么我们现在使用的芯片中的电路跟上面这个最简单的电路有什么本质的不同吗?实际上没有。当我们通过放大镜一点一点放大芯片中的电路的时候就会发现【如图所示】,这些电路跟上面的这个电路没有什么本质的区别。

为了达到这个目的,我们就要提到两种物质,金属和光刻胶。这两种物质有一点特性是相反的:光刻胶是一种胶状物质,可以被光线侵蚀掉,但是化学物质没有办法侵蚀;金属是没法用光线侵蚀,但是化学物质却可以腐蚀掉它。

所以说,这两种物质还有他们的奇特性质让科学家找到了灵感:我在金属表面放上覆盖上一层光刻胶,然后通过一定形状的光线去照射,那些被光线照射到的光刻胶就消失了,然后再用化学物质腐蚀,那么电路的形状不就自动出来了吗?

以上的道理,就是制造芯片的基本原理【如下面的动图所示】。

***是干什么用的

而***的作用,顾名思义,就是“用光来雕刻的机器”。是用来实现上面说到的“光线侵蚀光刻胶”的目的的。

所以说,***就是把很大的电路图,通过透镜缩小到芯片那么大,然后用光线侵蚀掉光刻胶,达到自动形成电路的目的【如下图所示】。

***是干什么用的

所***是非常复杂的机械,目前最厉害的***生产商就是荷兰的ASML,他们现在已经能够生产刻出5nm线路的***了——这些机器的价格可以达到可怕的一亿美元一台,甚至于你出得起这个钱人家还不一定有这个货。下面图就是ASML***中使用的著名光学仪器生产商蔡司生产的透镜,从这个透镜的复杂程度上我们就可以看出来***是一种多么精密的仪器了。

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