ASML支持福建晋华 低调运转不停工

国内 DRAM 技术阵营福建晋华在被美方列入出口管制清单当日，所有美系设备商全数撤出，之后甚至传出整个工厂陷入停摆，然事实上，福建晋华仍是低调持续运转，且最大光刻机龙头 ASML 默默支持并未撤出，目前由福建晋华总经理陈正坤坐镇，采“龟息大法”维持工厂正常运作。

（来源：ASML）

2018 年 10 月 29 日美国一纸禁令宣布晋华被列为出口管制清单中，隔天 30 日，美系设备、材料等供应商全面撤出，包括机台安装、协助生产等动作也立刻停止，之后传出连非美系的供应商也撤出，整个 12 寸厂房呈现停摆状态。

事实上，目前福建晋华的 12 寸厂房仍是低调运转中，且光刻机大厂 ASML 并未如外传撤出，仍是默默支持，ASML 对 DT 君表示，会在符合各种法规要求的前提下，正常支持客户。

很显然地，虽然遭遇巨大冲击和压力，晋华也走到此一险境，但并没有放弃 DRAM 技术计划，现阶段的晋华员工仍是抱着没有退路的信念继续做下去，战到最后一刻。

受到晋华事件冲击，国内另一个 DRAM 技术阵营合肥长鑫的动态则是更为低调。

业界透露，合肥长鑫的 DRAM 芯片已经研发出来，良率也不错，但碍于眼前的“晋华风暴”，可能会延后量产。

再者，由于之前不少美光前员工加入合肥长鑫的团队，为了规避目前锋头正盛的 DRAM 专利侵权疑虑，长鑫也雇用不少来自前三星电子（Samsung Electronics）、 SK 海力士（SK Hynix）的韩国研发团队，竭尽所能地淡化美系色彩。

（来源：SK海力士）

不过，传出之前“晋华案”爆发后，这些韩籍员工返回韩国后，有被当地政府“关切”，显示国内自制存储“芯”的风潮，仍是处于国际间的严密注视中。

眼前的福建晋华几乎是采用“龟息大法”在维持生命状态，让工厂的运作继续撑下去，但来自三面的压力仍是持续。一方面是来自美国司法部的起诉已在美国旧金山联邦法院开庭，晋华、联电提出无罪抗辩，争取从美国商务部出口管制清单中移除。

面对美国司法部的起诉，晋华和联电在美国分别寻找适合的律师协助处理该案，然而，晋华也遇到不少阻碍，主要是因为美国多家著名的律师事务所都与美系存储大厂美光（Micron）签约，而美光正是“晋华案”的幕后主要推手。

后来，晋华找到的律师为曾担任联邦检察官的 Christine Y. Wong，联电则是找来之前在美国欧巴马时代，担任联邦司法部助理总检察长的 Leslie R. Caldwell，作为辩护律师。

晋华遇到第二层面的压力，则是技术合作伙伴联电的终止 DRAM 技术开发计划。

根据原本规划，联电接受晋华委托的 DRAM 技术开发计画是在联电南科厂进行研发，待研发成功后，该组百人的 DRAM 研发团队将从联电转移至晋华，只是这组人还没转过去，美国的出口禁令就已经先一步出手拦截，现在这一组百人团队在联电已经内转到其他部门。

除了上述的美国司法大刀、合作伙伴退出 DRAM 技术开发计画外，晋华遇到的第三层阻碍是来自美系供应商的撤出。

2018 年 10 月底美国出口管制禁令一出，所有美系供应商包括 Applied Materials 、 KLA Corporation 、 Lam Research 、 Gatan 、 ECI Technology 、 Broker 、 Engegris 等全数撤出晋华，不过，部分非美系供应商并没有撤出，且晋华的晶圆厂仍是维持正常运作。

由于福建晋华先前已经采购可生产几千片的半导体机台设备，用以支应今年初进入小量投产，现在这些设备虽没有美系设备商人员协助生产，但晋华仍是想办法让机台正常运作，在耗材原物料方面，则是找韩系、日系的供应商代替美系的料源。

再者，合肥长鑫的 DRAM 技术开发计划是基于北京兆易创新、合肥市产业投资控股签署的《关于存储器研发项目之合作协议》，进行 19nm 工艺研发，总预算约为 180 亿元人民币，双方筹资比例为 1 ：4，目标是在 2018 年 12 月 31 日前实现产品良率 (测试电性良好的晶片占整个晶圆的比例) 不低于 10% 目标。

兆易创新也于 2018 年 12 月 28 日公告，经沟通确认，双方约定合作的 DRAM 研发项目将继续推进实施。