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碳化硅是第三代半导体材料的代表;而半导体这个行业又过于学术,为方便阅读,以下这篇文章的部分章节会以要点列示为主,如果遗漏或是不足之处,还请大家多多批评指正!
一、事件驱动
1、2018年,特斯拉Model 3主驱逆变器里首次使用碳化硅MOSFET以替代传统硅基IGBT,就此拉开碳化硅“上车”的序幕。
2、当前,越来越多的车企使用碳化硅器件。2020年,比亚迪“汉”在电机控制器中首次使用碳化硅功率模块;2021年,蔚来ET7在电驱动系统应用碳化硅;2022年,小鹏G9搭载碳化硅电驱平台;仰望U8、智己LS6、问界M9等近期明星车型也均采用碳化硅材料。
3、时间再回溯到2023年3月,马斯克在投资者日上宣布在特斯拉下一代动力平台中将削减75%的碳化硅,作为合计降低1000美元成本的手段之一。
一边是碳化硅加速上车,从高端车型不断下探渗透;一边是全球电动汽车龙头号称要大幅削减碳化硅用量;本篇主要围绕这两个问题讨论。
二、碳化硅是第三代半导体材料
1、半导体材料的迭代
第一代以硅和锗为代表,低压、低频、低功率,用来生产传统的CPU、GPU等;目前90%以上半导体产品都是硅基材料;
第二代一般指磷化铟、砷化镓;因电子迁移率约是硅的6倍,相较而言更加高频、高速,主要用来生产射频器件、光模块、激光器、传感器等器件;
第三代是以碳化硅、氮化镓为代表的半导体材料,具有高禁带宽度、高热导率、高击穿场强、高电子饱和漂移速率的物理特性。
电子饱和漂移速率指电子在半导体材料中的最大定向移动速度,决定了器件的开关频率。
2、碳化硅特点
根据天科合达2020年7月招股书(注:天科合达是导电性衬底国内龙头,IPO已终止),相对于Si基,第三代半导体优点包括:

(1)更高的额定电压;
(2)更低的导通电阻,1kV电压等级下,SiC基单极性器件的导通电阻是Si基器件的1/60;
(3)更高开关频率;
(4)更高的热导率,更低的热阻,SiC热导率是Si的3倍,内部更易散热,减小器件过温失效风险,提高可靠性;
(5)理论极限工作温度能达到600℃,远高于Si基器件,但根据木桶原理,实际能达到的最高工作温度受限于封装材料;
(6)极强的抗辐射性,过量辐射不会导致出现性能衰退。

三、碳化硅产业链
根据“广东天域半导体”2023年1月19日首次公开发行IPO(注:资料显示,天域股份(TYSiC)成立于2009年,是中国第一家从事碳化硅(SiC)外延晶片市场营销、研发和制造的民营企业。也是中国国内最大的SiC半导体纯外延晶片生产商):


上游:碳化硅衬底和外延片的制备。碳化硅粉料通过长晶、加工、切片、晶片研磨等环节制备成碳化硅衬底,再在衬底上生长单晶外延材料;
中游:碳化硅功率器件、碳化硅射频器件的设计、制造、封测等环节;
下游:适用高压、高功率、高频、高温等苛刻环境,广泛应用于新能源汽车、光伏、工业电源、轨道交通及5G通讯等领域。
总体来看,衬底、外延成本占比最高,合计超过70%(47%+23%),是产业链条中价值量最大的两个环节。
1、衬底
衬底是价值链核心,总体呈现供不应求。碳化硅衬底是一种由碳和硅两种元素组成的单晶材料,具备禁带宽度大、热导率高、临界击穿场强高、电子饱和漂移速率高等特点,可有效突破传统硅基半导体材料物理极限,开发出更适应高压、高温、高功率、高频等条件的半导体器件。

衬底根据电学性能分为:
(1)半绝缘型(具有高电阻率),主要应用于制造射频器件,面向通信基站以及雷达应用的功率放大器;
(2)导电型(低电阻率),主要应用于制造功率器件,面向电动汽车/充电桩、光伏新能源、轨道交通、智能电网等。
全球SiC衬底从6英寸向8英寸发展(即大尺寸化)。更大的晶圆尺寸可带来单片芯片数量的提升、提高产出率,降低边缘芯片比例,提高良率。
衬底价格下降是推动碳化硅进一步商业化的核心环节,衬底发展是SiC产业降本增效、提升渗透的核心驱动因素。
目前,国内厂商在半绝缘衬底全球市场具有一定优势(天岳先进),但导电型衬底全球市场占比较小(天科合达、天岳先进)。
2、外延晶片
外延晶片是在衬底基础上,经外延工艺生长出晶格一致、高纯度、低缺陷的特定单晶薄膜。外延生长技术是必不可少的环节。此外,外延材料最基本、最关键的参数是厚度和掺杂浓度。

根据掺杂元素不同,外延晶片分为N型(氮元素)、P型(铝元素)和PN型(氮铝都加)多层材料;N型是功率器件厂商主要使用的型号。
目前外延常用工艺为化学气相沉积(CVD)法。外延中的核心技术包括对外延温度、气流、时间等参数的精确控制,以使得外延层的缺陷度小,从而提高器件的性能及可靠性。一般而言,外延厚度越大,器件能承受的电压也就越高。
3、功率器件
硅基IGBT(绝缘栅双极晶体管)在高压领域有优势但无法胜任高频领域的要求;硅基MOSFET(金属-氧化物半导体场效应晶体管)能胜任高频领域但对电压有所限制;

根据全球器件龙头Wolfspeed和罗姆的信息:相同规格SiC MOSFET比Si MOSFET,体积缩小1/10,导通电阻缩至1/200;相同规格SiC MOSFET比Si IGBT,能量损失小于1/4。
SiC MOSFET完美解决高压、高频在硅基上难以兼得的问题,在兼容高压中频的基础上,SiC MOSFET凭借高效率、小体积的特性成为电动汽车、充电桩、光伏逆变等领域的最佳解决方案。

4、封装材料
陶瓷衬板又称陶瓷电路板,是在陶瓷基片上通过覆铜技术形成的基板;再通过激光钻孔、图形刻蚀等工艺制作成陶瓷电路板。
陶瓷基板按封装材料分为:氧化铝、氮化铝和氮化硅,其中氮化铝和氮化硅材料基板通常采用AMB工艺。

AMB工艺因可靠性更优,逐渐成为主流。采用AMB工艺的氮化铝陶瓷基板要用于高铁、高压变换器、直流送电等高压、高电流功率半导体中;采用AMB工艺的氮化硅陶瓷基板主要应用在电动汽车(EV)和混合动力车(HV)功率半导体中。
四、碳化硅上车节奏不断加速的原因
1、碳化硅在新能源汽车上的应用
碳化硅器件主要应用在电机控制器(电驱)、车载充电机OBC、电源转换系统(车载 DC/DC)、充电桩。碳化硅器件相比硅基,体积小,性能优越,节能,匹配了新能源汽车增加续航里程、缩短充电时间、提高电池容量、降低汽车自重的趋势。
据Wolfspeed测算,将电动汽车逆变器中的功率组件改成SiC时,可显著降低电力电子系统的体积、重量和成本,从而提升车辆5%-10%的续航;
据英飞凌测算,SiC器件整体损耗相比Si基降低80%以上,开关等损耗减小,从而增加电动车续航。

简单做个成本测算,单车可节省400-800美元的电池成本,与新增的200美元SiC器件成本抵消后,单车能实现至少200-600美元的成本下降。
2、高压快充能加速碳化硅渗透的原因
(1)高频
碳化硅材料的电子饱和漂移速率是硅基的2倍,有助于提升器件工作频率;
(2)耐高压
碳化硅击穿电场强度是硅的10倍,可以极大提高耐压容量、工作频率和电流密度,并大大降低器件的导通损耗。因此,高临界击穿电场的特性能将MOSFET带入高压领域,以克服IGBT在开关过程中的拖尾电流问题,降低开关损耗和整车能耗。而近年来由于800V高压平台车型销量的快速增长,市场都知道了:800V平台能够显著提升充电速度、减少能量损耗,并优化整车性能。碳化硅器件在高电压应用中的低损耗和高效率优势,使其成为800V系统的核心技术支撑。

(3)耐高温、高热导率
碳化硅禁带宽度约为硅的3倍,更大的禁带宽度能保证材料在高温下,电子不易发生跃迁,从而耐受更高的工作温度。硅器件极限工作温度一般不超过300℃,而碳化硅可以达到600℃以上;高热导率能够带来功率密度提升,同时更易散热,进而减小冷却部件,实现系统小型化、轻量化;
(4)系统功率密度提升充电效率
碳化硅器件能量损耗更小,体积也小于硅基,能够提升系统的功率密度。例如,智己LS6“全域800V双碳化硅平台”能够实现“充电5分钟,续航里程增加200km”,这种显著的充电效率提升也是碳化硅加速上车的重要原因之一。

(5)特斯拉Model3的示范效应
特斯拉宣布旗舰车型Model3将搭载意法半导体的碳化硅功率器件,这成为碳化硅“上车”的里程碑,激发了其他半导体企业纷纷投入碳化硅技术的研发和应用。
(6)市场需求推动
新能源汽车、光伏、电力电子等市场需求的快速增长,带动了碳化硅市场的扩张。锂电巨头、通信巨头、整车大厂等纷纷入股相关初创公司,推动了碳化硅技术的产业化进程。
(7)国内碳化硅产业链的快速突破
国内碳化硅全产业链正在快速突破中,斯达半导、新洁能、闻泰科技、露笑科技等产业链公司新成果频现,进一步推动了碳化硅技术的应用和普及。
综上,传统Si基功率器件无法满足高电压平台要求,而SiC可上拓至1200V,是未来功率器件发展的主要方向。
五、特斯拉表态要削减碳化硅用量的原因
2018年,特斯拉首先拥抱了碳化硅;当下,特斯拉又是第一个声明要减少碳化硅用量。
成本,是决定SiC进一步大批量使用的关键因素;削减碳化硅用量,和一体化压铸这些技术一样,是特斯拉降本的重要手段——要通过一切可能的方法,削减成本,降低价格,换取销量。
问题转化为:碳化硅的降本路径有哪些?
SiC材料成本高、 制作工艺复杂、产品良品率较低,这些都限制了碳化硅进一步商业化;
所以,我们需要在“碳化硅器件成本的增加”和“碳化硅器件优越性能带来的综合成本下降”,这两者之间找到平衡,以最终达成降低整车成本的目的。
衬底是价值链最高的环节;降本路径主要包括扩大晶圆尺寸、 改进碳化硅长晶、改进加工工艺以提高良率。
1、扩大晶圆尺寸
衬底尺寸越大,单位衬底可制造的芯片数量越多,单位芯片成本越低;衬底尺寸越大,边缘浪费就越小。预计8寸衬底的引入将使整体成本降低 20-35%。目前导电型衬底以6英寸为主,8 英寸开始发展;半绝缘衬底以4英寸为主,逐渐向6英寸发展。
2、改进碳化硅长晶及加工工艺以提高良率
长晶慢、质量低、大尺寸难度高、加工工艺不足带来损耗等,是造成良率降低的因素。
3、氮化镓替换碳化硅可能成为降本路径
氮化镓同样是第三代半导体材料,具备耐高温、高频、高效率等优势,常用于高功率应用场景,目前已经从高功率应用场景向消费电子场景实现转变。

当前SiC的产能仍然紧张,即便特斯拉真的能够做到减少75%的用量,下面提到的其他领域的需求也会补上来(一般而言,SiC厂产能优先给汽车用);充电桩也需要用到更多SiC。所以长期看,SiC的替代,依然是大趋势。
六、碳化硅在其他领域的应用
1、光伏逆变器
光伏行业已渐渐迈入“大组件、大逆变器、大跨度支架、大组串”时代,光伏电站电压等级从1000V提升至1500V以上,必须使用碳化硅功率器件。

逆变器主要作用是将电池组件产生的直流电转化为交流电。使用SiC MOSFET功率模块的光伏逆变器,转换效率有望从96%提升至99%以上,能量损耗降低50%以上,设备循环寿命提升50 倍,从而能够缩小系统体积、增加功率密度、延长器件使用寿命、降低生产成本。
2、轨道交通
碳化硅功率器件能够提升开关频率,降低开关损耗,高频化可进一步降低无源器件的噪声、温度、体积与重量,提升装置应用的机动性、灵活性,是新一代牵引逆变器技术的主流发展方向。

目前SiC器件已在城市轨道交通系统中应用。苏州轨交3号线0312号列车是国内首个基于SiC变流技术的永磁直驱牵引系统项目,实现牵引节能20%。
3、智能电网
高电压、大容量是智能电网提升的主要方向。SiC功率器件在智能电网的应用包括高压直流输电换流阀、柔性直流输电换流阀、灵活交流输电装置、高压直流断路器、电力电子变压器等装置中。

SiC器件应用在超高压直流输送电和智能电网领域,可使电力损失有效降低,同时提升电网供电效率。
最后想说的话
综上所述,碳化硅之所以能够加速上车,主要得益于其在高电压应用中的优势、市场需求的推动、特斯拉等企业的示范效应以及国内碳化硅产业链的快速突破。尽管特斯拉未来可能会减少碳化硅的使用量,但这并不影响碳化硅在新能源汽车市场中的广泛应用和快速发展。

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