在半导体产业竞争白热化的当下,时间成本与生产效率成为企业制胜的核心要素。普迪飞Characterization Vehicle System( CV 系统)作为电学参数表征系统的领航者,率先将Short-Flow测试芯片用于开发和改进新技术与产品。CV 测试芯片已被证实,是用于表征工艺与设计之间互动关系的卓越工具,对验证和监控高良率的稳定生产而言,其重要性不言而喻。
强强联合 · 大幅缩短研发周期
CV 系统提供差异化的电学参数数据,与 Exensio 数据分析平台协同运作时,能将效能发挥至最大化。通过对数据的深度整合与分析,该系统可提供具备可行性与解决力的改进方案,有效缩短设计迭代周期,帮助产品尽快达到量产水平。同时,在量产环境下,CV 系统所提供的大量设备及工艺表征数据,结合 Exensio 平台,能够实现精准的产品性能建模,进而达成最佳的产品特定工艺设置,最大化生产过程的稳健性与可预测性。

在量产环境中实现最大稳健性和可预测性
从数字看优势,彰显业界领先地位
比传统测试系统快 100 倍
密度结构高达普通设计的 30 倍
分析速度提高 10 倍
10nm 及以下的测试芯片超过 100 种
功能优势全方位解析
1.数据生成高效 · 自动衔接Exensio:
CV 系统由结合普迪飞专有的 pdFasTest 测试机台所设计的高密度 CV 测试芯片组合构成。其数据读取速度相较于传统测试芯片系统提升高达 100 倍,并且所产生的数据能够自动导入 Exensio 数据分析平台,实现了数据处理流程的无缝衔接,极大地提高了整体工作效率,确保企业能够迅速获取关键数据,为决策提供有力支撑。

2.数据质量高精度 · 测试与分析高时效:
CV 系统包含超越 PPB (十亿分之一) 的统计分辨精度、广泛全面的 Layout Pattern 实验设计(DoE),高面积效率和自动化分析。一个全光罩测试芯片整个 Lot 的所有测试与分析可以在不到一天的时间内完成 。
3.100+种CV测试芯片 · 定制化解决方案:
CV 系统能够提供已成功应用于10nm以下工艺节点的100多个CV测试芯片。这些CV测试芯片已被证明能够代表验证和监控高产量、稳定生产所依赖的关键工艺布局相互作用,并且可根据客户需求提供定制化解决方案。

针对不同企业需求的定制化应用
Fabless:高效达成量产目标
首次正确的产品流片对业务成功至关重要。稳定的量产对于优化WIP和盈利至关重要。CV 系统为无晶圆厂提供了实现目标所需的参数洞察。
MPW CV:可在批量生产之前及时准确暴露功能性和参数性问题
Direct Probe CV:为您在 NPI (新产品导入)阶段快速发现功能和参数问题,加快上市速度
Scribe CV 和 CV Core IP:提供监视和快速诊断功能,以优化成本并实现高质量的批量生产

为Fabless定制的CV系统
Foundry&IDM:助力技术开发与量产爬坡
三十多年来,普迪飞一直致力于助力Foundries和IDM实现技术开发和量产爬坡的世界领先速率。我们的客户依赖于普迪飞提供的CV技术,在缩短处理、测试和分析时间的同时,最大化每片晶圆的学习效果。Scribe CV在量产生产期间提供全晶圆空间覆盖,并支持关键产品的定制化,实现快速新产品引入和持续产量改进所需的可观测性。

为Foundry和IDM定制的CV系统可大幅提升良率收敛效率
若您所在的企业正为设计周期冗长、良率提升困难、数据处理繁杂等问题所困扰,敬请深入了解普迪飞 CV 系统,帮助您突破发展瓶颈、实现业务飞跃。
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