洁净室用特殊光谱（黄光）论述-江苏泊苏系统集成有限公司

洁净室用特殊光谱（黄光）论述-江苏泊苏系统集成有限公司

随着现代社会生物及半导体等高新技术及实验科技的大发展，国家“十三五”期间及“十四五”期间基因生物，生物制药及半导体，精密电子等相关领域快速发展，对洁净空间场所的需求越来越多，与此同时根据洁净场所内工作内容和实验，检验对像的不一样产生了多种特殊照明需求，今天我就重点和大家来一起交流和探讨在蚀刻和暴光等区域为什么需要采用特殊黄光照明？需要何种的黄光照明灯具？

一段时间以来我们在市场或销售人员处反复听到一个名词，抗UV紫外线黄光灯，甚至我们在图纸或技术资料看到电气工程设计师在在选型设计时，一些灯具供应商在做产品指标特性及宣传资料时亦用无紫外线黄光类来标识或描述产品，这让我很是困惑。是对相关技术的不了解还是对宣称的内容有各自的理解？做为业内的一名从业人员，我认为推动行业正确认知产品及技术参数指标选型，纠偏及准确定义和表述一个产品（包括产品名称）是每一个从业者的责任和任务。

黄光照照明部分场所图片

要回答上面的问题，我们需要知道那些场所才需要特定黄光光谱的光；？特定黄光谱对作用对象的化学及物理机理作用？人造特定黄光谱的特性等，了解了这些我们就可以准确的表述，设计和选择合适的特殊光源及光谱类型，包括产品的结构及电气控制方式等 首先我们来了解需要特定黄光谱的场所有那些，分别有那些具体或细微的要求。 一是曝光及显影类场所为什么需要采用制制黄光照明？曝光就是通过光照射光阻，使其感光，是将涂布在Wafer表面的光阻感光的过程，同时将光罩上的图形传递到Wafer上的过程；显影就是将曝光完成后的图形处理，类似于洗照片，是将曝光完成的Wafer进行成象的过程，通过这个过程，成象在光阻上的图形被显现出来。

二是光刻和蚀刻类车间为什么要采用特制黄光照明？因为光刻车间旋涂光刻胶的厚度与曝光的光源波长有关（不同级别的曝光波长对应不同的光刻胶种类和分辨率）：I-line最厚，约0.7～3μm；KrF的厚度约0.4～0.9μm；Arf的厚度约0.2～0.5μm。非敏感光源如（黄光照明）避免了光辐照后可能产生酸或产生交联。照明光的光谱决定光刻胶涂胶厚度的关键参数：光刻胶的黏度（Viscosity），黏度越低，光刻胶的厚度越薄；旋转速度，速度越快，厚度越薄。

综上我们得到三个对于选择黄光照明的技术维度重点。 1：黄光还是属于照明光而装饰光或者叫颜色光，所以正确是要采用黄光而非黄色光； 2：特制光谱是要与光刻胶化学反应不敏感光源（光谱），只要满足了这点也是可以用在有以上特定照明要求的场所的，重点是要不产生强化学关系的非敏感光源，如不敏感光红光，绿光也可以用在此类场所，对作业对象亦可达到要求。 3：无紫外线照明光源（光谱）。含有≤405nm紫外线或 ≤ 500nmr的蓝紫可见光则属敏感光源，这里重点为无紫外光谱的光源即可运用于黄光照明车间（如今的LED人造照明光源已基本不含有紫外光谱，蓝光芯片激发的光400nmn以下光谱几乎完全没有）。

不同技术代照明光的光谱图 基于以三点技术归类，我们即可清楚的设计和选型所需特殊照明光谱，但此处有一个大家需要重视的误区，首先我们需要对产品和称呼定义，原来的荧光灯时代黄光灯表述为抗UV紫外线黄光灯这个称呼或表述是不正确，环境空间内并没有紫外光产生源何来的抗UV紫外一说？至少应表述为漏或无紫外线照明光这个称呼，笔者认为最准确的称呼应为“无敏感光谱黄光照明灯具”，因为紫外光也是敏感光谱，

同时不敏感光谱也并非只有黄光，如红光，绿光也是属不敏感光谱。其次在以LED固体照明为主流人造光照明时代，我们的人造可光谱中很少有紫外线，特别是强化学敏感的365nm光谱，同时新型的LED照明我们是可以通过对色粉的控制来实验精准的光谱控制，所以现如今我们对特定场所用的不敏感黄光及其他特殊场景用照明应当以当下的技术和产品来重新定义和表述，把老旧落后或错误的技术和理念更正为最新的正确的产品名称和技术方案等 。

为什么大家或主流都是选择黄光而非红光或绿光等其他不敏感光源来做照明呢？这主要是基于以下二个原因；一是人因照明的需要，我们视神经及光照颜色反射回馈习惯里人眼最能适应和接受在黄光下的视觉采纳及作业；二是同时大多数的感光胶(光阻、光刻胶)的光敏感范围皆在450nm以下，故原则上无尘室的光线波长只要在500nm以上就算是安全，不会造成提早感光及误曝的情况，则红光、黄光、绿光、蓝光皆可以被采用於无尘室的照明，但因其下列原因光与环境，情绪的关系而选择“黄光”作为该无尘室的主要照明。

•红光无尘室，若长期待上8个小时，心情较会变得心浮气躁。

•绿光无尘室，在绿光的投射下，见到无尘室内的同事，会变成"看到鬼"。

•蓝光无尘室，因蓝光波长太靠近紫外光，导致较长波长(436nm)敏感之光阻，可能造成误曝光。

•黄光无尘室，是物理及人性方面最能被为接受的。

综合以上原因，故一般都采用不敏感黄光照明 以此同时我们在搞清楚了黄光灯的机理及使用原则后，对产品我们也应该有其对应的定义，只要符合其不含紫外，不含敏感光谱（500nmn以内的光谱）的灯具就可以应用在需要不敏感光源照明的场所。在光谱满足这一要求的情况下灯具的结构，材料及电气并不需要特殊的规定或表述，以减少一些企业或人为对产品的复杂设计和宣传，对整个行业的成本及发展是非常有益处的。特殊光谱及光品质照明环境中，基于光学与生物学，化学的的功能性要求是选型及检验产品是否合格及适用的最重要指标要求。