半导体集成电路洁净室/无尘室原理及日常维护介绍！

芯片有着很强动力和潜力，随着国内的半导体产业的发展，对芯片需求不断增多，LED/半导体/线路板芯片制备到器件封装，对生产环境空气品质都有较高的要求，空气品质关系着成品率和产品品质。很多「半导体工业」以及「生技产业」都需要用到无洁净室。今天 【科准测控】 小编就来详细介绍一下半导体集成电路洁净室/无尘室的原理还有标准是什么？以及日常维护事项，一起往下看吧！

半导体洁净室原理：

『洁净室』又称为「无尘室」，是将一定空间范围内之空气的微尘粒子、有害气体、细菌等污染物排除于外，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在一定需求范围内，而给予特别设计之房间。也就是说这个受控的房间内之微尘粒子相当稀少。

半导体洁净室的应用：

洁净室在现代工业中早已被广泛应用于半导体生产、液晶萤幕生产、生化技术、生物技术、精密器械、制药、医院等行业之中，尤其以半导体晶圆制程对无尘等级的要求最高，因为现今的晶圆已经都发展到奈米级的水准，随便一粒灰尘掉落在晶圆上都可能造成整个晶圆线路的毁损，甚至导致这个晶圆必须报废。

无尘室除了管控空气中的微尘粒子之外，还分成正压无尘室与负压无尘室。一般正压无尘室比较常见，就是让室内的空气压力大于室外的压力，这样才可以控制室内空气往外吹以杜绝外部的污染源。

而负压无尘室一般应用在有毒实验室、病理实验室或传染病病房，目的是为了避免实验室或病房中有任何有毒气体或传染病菌不小心传播到大气环境中，所以负压就是为了让室外的空气会往室内吹，然后藉由过滤网将可能受污染的空气过滤，以免让不相干的大众受到感染。

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空气洁净度参考：

根据国标GB50073—2013，洁净室的空气洁净度等级为1~9级。在具体实践中，常参考美国标准FS 209E，其中的空气洁净度等级有1级、10级、100级、1000级、10000级、10000级等，如表1-1所示。

洁净****室应该具备哪些要素？

基本上「无尘室」应该要具备以下的功能：

1、能去除空气中漂浮之微尘粒子。

2、能防止微尘粒子之产生。

3、能控制温度及湿度。这是因为密闭的环境需要温度及湿度控制以符合人体舒适度，另一方面温度及湿度也可以控制微生物的生长。其次，湿度过大也会影响到电子产品的品质。

4、能调节压力。这是为了要控制无尘室内为正压或负压。

5、能调节温度。

6、能防止静电。这是一定要的，电子产品怕静电了，尤其是还未封装的晶圆。

注：另外还必须考虑到安全因素（包含火灾灭火与紧急状况逃生）

湿度可能使洁净室总体表现下降的 原因有 ：

1.细菌生长；

2.工作人员感到室温舒适的范围；

3.出现静电荷；

4.金属腐蚀；

5.水汽冷凝；

6.光刻的退化；

7.吸水性。

细菌和其他生物污染（霉菌，病毒，真菌，螨虫）在相对湿度超过60%的环境中可以活跃地繁殖。一些菌群在相对湿度超过30%时就可以增长。合景净化工程公司认为，应将湿度控制在处于40%至60%的范围之间时，可以使细菌的影响以及呼吸道感染降至最低。

相对湿度在40%至60%的范围同样也是人类感觉舒适的适度范围。湿度过高会使人觉得气闷，而湿度低于30%则会让人感觉干燥，皮肤皲裂，呼吸道不适以及情感上的不快。

高湿度实际上减小了洁净室表面的静电荷积累──这是人们希望的结果。较低的湿度比较适合电荷的积累并成为潜在的具有破坏性的静电释放源。当相对湿度超过50%时，静电荷开始迅速消散，但是当相对湿度小于30%时，它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。

相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中，半导体洁净室一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。

以上就是 【科准测控】 技术团队为大家整理的关于半导体集成电路洁净室的原理、空气洁净度等级还有洁净室的维护了，希望对大家能有所帮助。如果您也有遇到半导体集成电路不明白的问题，欢迎给我们私信或留言，科准测控也会为您解答疑问！

审核编辑 黄昊宇