解决方案 1+1＞2！实现亚微米级对射测厚！

一般情况下，单个激光位移传感器就可以完成被测物体的厚度测量，但难以确保被测物体与平台之间有无气隙，是否影响测量精度。

在电子器件、半导体、能源存储等精密制造领域，要求工件厚度的极致精准。

为应对高标准的厚度检测，光子精密采用PDH系列激光位移传感器进行对射测厚，为企业的高精度厚度检测提供参考。

01 试验原理

通过两个PDH系列激光位移传感器上下对称布局，同步连续获取量块的厚度，结合高精度运动平台实现量块厚度的动态测量。

测试样品：2mm标定块。

测试仪器：上下各安装一台PDH系列激光位移传感器，量程50±10mm，重复精度0.035 µm，线性精度±0.02% of F.S.，采样速度可达260KHz。

运动平台：带动量块进行上下移动，覆盖PDH量程内的20个测量点。

02 测试数据

动态测试单点重复性，测量20次。

03 方案优势

1.有效消除误差：对射测厚可以有效消除单个传感器因气隙、振动等因素引起的误差。

2.测量精度高：PDH系列拥有超高的重复精度与线性精度，结合260KHz高频监测，可更精准更快速地捕捉被测物体的微小位移变化，大幅提升厚度值的准确性与可靠性。

3.灵活高效：PDH系列采用新光学设计，光点对称性与同步性优异，可实现上下精准对射。结合专用上位机软件PDH-Navigator，能够通过菜单选项便捷地进行配置，实时监控数据变化。

4.测量场景更广：PDH系列对射测厚可实现动态厚度检测，还可稳定检测具有复杂曲面或形状不规则的工件，适应更多种测量环境和对象。

审核编辑 黄宇