高效光源选择：LDLS技术的关键问题与答案集锦

为了更有效地协助我们的客户，我们特别整理了一份高频LDLS问题合集，旨在更全面、细致地解答大家所关心的疑问。希望通过这份精心准备的内容，能够更好地满足大家的需求，提升问题解决的效率。

1、LDLS光源的功率和亮度可以到多少?

LDLS针对高亮度方面进行了优化，LDLS光源的功率从一个百微米量级左右的等离子体发出，所以LDLS光源可以利用较小的辐射功率发出高亮度(spectral radiance - mwatts/nm/mm²/sr)的光。几种LDLS光源辐射功率和亮度选择如下：

2、EQ-99XFC可以输出多强的光功率?

EQ-99X-FC的输出光功率受光纤纤芯直径、光纤纤芯材料、以及光纤包壳做工质量的影响，建议采用我司的耐热处理的标准光纤，其输出光功率具体如下：

3、EQ-99XFC光谱辐射强度可以到什么范围?

EQ-99X-FC的输出光功率受光纤纤芯直径、光纤纤芯材料、以及光纤包壳做工质量的影响，长度1m的标准光纤输出光谱辐射强度如下图所示。

4、什么是LDLS光源等离子体空间稳定性?

LDLS光源等离子体空间位置由激发激光聚焦点精准控制，LDLS产品等离子体位置在x，y，z三个方向上的分布偏差均小于0.5 μm。

5、LDLS光源寿命可以到多久?

EQ-99系列和EQ-77系列光源在标准建议工作状态下寿命均在10000小时以上。另外，光源工作1000小时以后，灯泡的输出功率只会衰减1%~2%。

6、什么时候使用LDLS光源需要充氮气，氮气的气压需要多少?

LDLS光源产生大量深紫外光，200 nm以下的深紫外光会使氧气转化为臭氧，同时臭氧会吸收240 nm~270 nm的深紫外光。因此，如需使用170 nm~270 nm的深紫外光，光源在使用时需要充入纯净氮气。同时，充入氮气也可以防止灯泡被空气中有机蒸汽污染。为了保证光学器件的洁净，氮气需要满足6级洁净度。

7、能否提供LDLS光源的光学模型供光学系统设计?

目前LDLS系列的部分型号针支持提供外部机械结构与光学模型参数，如有需要请联系滨松相关工程师。在设计初期请参考各光源输出数值孔径参数完成光路设计：EQ-9的数值孔径为0.5。EQ-99X的数值孔径为0.47，EQ-77的数值孔径为0.5，EQ-400的数值孔径为0.5。EQ-850的数值孔径为0.58。EQ-99X-FC为光纤耦合输出，其中SMA光纤的数值孔径为0.22。

8、EQ-99X能否配置SMA光纤输出接口?

可以配置SMA光纤输出接口。但是目前，标准的SMA光纤接口稳定性要比FC接口差很多，需要寻找高性能SMA光纤接口，所以使用SMA光纤输出接口的EQ-99X比EQ-99XFC成本要高很多。

9、LDLS在使用时，除了充氮气，能否充其他气体?

不可以。只有洁净、干燥的氮气能在LDLS光源中使用。

10、LDLS能否在使用的时候放进真空的环境?

不可以。LDLS系统不能支持真空的使用环境，放进真空环境可能会对光学结构造成损害。

11、LDLS光源的预热时间?

建议在进行测量之前进行大约30分钟的预热，以确保LDLS光源已经达到热平衡。具体应用测量的实际预热时间可能更长或更短，这取决于要进行测量的精度。

12、EQ-99X在开机时灯室的放置方向。

EQ-99X使用时灯室只能安装在包含序列号的标签朝下的位置。

13、EQ-99 Manager的功能

EQ-99 Manager可以进行光源开关的程序控制，光源运行时间统计，外部快门控制。其中，EQ-99 Manager自带快门，快门可以通过机械转接件与EQ-99X连接，快门周期、曝光时间均可以通过程序设置。

14、LDLS上标的15 W、10 W是指什么?

指的是电功率。

审核编辑 黄宇