H60.XYZTR5六自由度并联机构

随着科研及工业领域科技的不断提升，对于灵活运动且高精密的定位系统需求越来越多。芯明天研发生产压电纳米定位台可产生1~6轴运动，可直线，可偏转，且速度快、精度高，可广泛用于半导体、光学、医疗、航空航天、生物科技等微纳操作领域。

H60.XYZTR5六自由度并联机构

H60.XYZTR5系列六自由度并联机构压电纳米定位台，是X、Y、Z、θx、θy、θz六轴运动定位台，内置高可靠性压电陶瓷作为驱动源，通过六支压电促动器的协调伸缩，配合先进的控制算法，实现空间内1~6维的精密直线及角度运动，台体结构紧凑。由于采用了并联运动设计，它可以执行复杂的多轴运动轨迹，闭环版本配置高精度传感器对位置进行实时监测反馈，实现纳米级的精密定位控制，具有高刚度、高可靠性和重复性。此版本为真空版本，可进行真空环境适配。产品外观如下图所示。

产品特点

六自由度运动

大承载

闭环定位精度高

误差无积累

产品应用

半导体设备

光学

晶圆检测微加工

医疗

航空航天

技术参数

型号	H60.XYZTR5S/K
运动自由度	X、Y、Z、θx、θy、θz
驱动控制	6路驱动，6路传感
X、Y轴标称行程范围（0~120V）	±40μm
Z轴标称行程范围（0~120V）	±27.5μm
θx、θy轴偏摆角度范围（0~120V）	±0.6mrad
θz轴旋转角度范围（0~120V）	±0.8mrad
θx、θy、θz轴偏摆分辨率	优于0.5μrad
X、Y、Z轴位移分辨率	优于0.5nm
闭环线性度	优于0.1%F.S.
闭环重复定位精度	优于0.1%F.S.
结构形式	六自由度并联式
驱动方式	压电陶瓷促动器驱动
承载能力	5kg
重量	1300g

配套控制器

E70.D6S压电控制器非常适用于驱动H60.XYZTR5六自由度压电运动平台。E70.D6S是一款大功率、低功耗、高带宽、低纹波噪声的压电陶瓷控制器。E70.D6S为2个模块化E70系列压电陶瓷控制器级联形成，单个E70模块通道数为3通道，最多可级联32个模块，达96通道。控制器采用DC24V供电，可通过外部模拟信号或RS-422接口数字通信进行控制、开/闭环可选、集成式PZT&sensor接口便于连接，外部可设定控制功能，操作简单便捷。

审核编辑 黄宇