Monaco 新款 50W 紫外飞秒激光器，助力晶圆和堆叠 OLED 屏的高效切割

工业级材料加工激光器的领导者 Coherent 高意(NYSE: COHR)近日宣布推出新款 Monaco 工业级紫外(UV)飞秒激光器。新产品配置 50W 的输出功率，尤其适合晶圆和堆叠 OLED 显示屏的高速、高效、大批量切割。

面向新一代移动 IT 设备，晶圆开槽和堆叠显示屏精密切割等应用场景正在快速增多和发展。这加速推动了对新性能激光切割工具的需求——即可提供更高输出功率，完成材料的高精密度、高速加工。新推出的 Monaco 345-25-50，是首款技术参数达到 50W、400fs 且具备全天候工业级作业性能的 UV 激光器。其极易适配集成，可完美支持大批量高精密切割。

Monaco 工业激光器平台是我们非常成功的一个产品系列，而 Monaco 345-25-50 正是该系列的最新成员，它也是市场上尺寸很小的 50 W 飞秒激光器。Monaco 产品系列已在应用现场得到证明，目前已有 800 多个 Monaco 系统部署于世界各地的工厂之中，它们可全天候运行，大规模量产医疗器械和应用于尖端消费品的 OLED 显示屏。Allan Ashmead北---美微电子设备和仪表事业部高级副总裁

Monaco 345-25-50 在紫外线波长以最高达 25µJ 的能量提供脉冲，其重复率最高可达 2MHz，脉冲宽度小于 400fs。它具备 Monaco 平台的所有标准功能，包括可控按需脉冲模式、可变脉冲宽度调制、可变重复率和灵活的种子光源爆发(Seeder Burst)模式。依赖自身的紧凑尺寸和真正的单盒设计，新产品能够轻松集成到各种机床之中。它进一步扩展了 Coherent 的 Monaco 红外和绿光激光器系列，是紧随 Coherent 在美国西部光电展(Photonics West 2023)上推出高功率、高能 Monaco 1035-150-150 红外激光器之后的又一力作。整个 Monaco 系列均可以直接烧蚀方式切割各种晶圆材料，碳化硅晶圆也不例外。

审核编辑 黄宇