扫描电镜按构造和用处可分为透射式电子显微镜、扫描式电子显微镜、反射式电子显微镜和发射式电子显微镜等。
扫描电镜常用于察看那些用普通显微镜所不能分辨的纤细物质构造,次要用于察看固体外表的形貌,也能与X射线衍射仪或电子能谱仪相结合,构成电子微探针,用于物质成分剖析;发射式电子显微镜用于自发射电子外表的研讨。因电子束穿透样品后,再用扫描电镜成像缩小而得名,它的光路与光学显微镜相仿,可以直接取得一个样本的投影。
经过改动物镜的透镜零碎人们可以直接缩小物镜的焦点的像,由此人们可以取得电子衍射像,运用这个像可以剖析样本的晶体结构,在这种扫描电镜中,图像细节的对比度是由样品的原子对电子束的散射构成的,由于电子需求穿过样本,因而样本必需薄。样本的厚度可以从数纳米到数微米不等。
原子量越高、电压越低,样本就必需越薄。样品较薄或密度较低的局部,电子束散射较少,这样就有较多的电子经过物镜光阑,参与成像,在图像中显得较亮。反之,样品中较厚或较密的局部,在图像中则显得较暗。假如样品太厚或过密,则像的对比度就会好转,甚至会因吸收电子束的能量而被损伤或毁坏。扫描电镜的操作步骤及日常维护、保养注意事项如下:
1、去掉防尘罩,翻开电源
2、将试样置于载物台垫片,调整粗/微调旋钮停止调焦,直到察看到的图像明晰为止
3、调整载物台地位,找到要察看的视场,停止镜像剖析
4、扫描电镜调焦时留意不要使物镜碰到试样,以免划伤物镜
5、当载物台垫片圆孔中心的地位远离物镜中心地位时不要切换物镜,以免划伤物镜
6、亮度调整切忌忽大忽小,也不要过亮,影响灯泡的使用寿命,同时也有损视力
7、所有(功能)切换,举措要轻,要到位
8、关机时要将亮度调到小
9、非专业人员不要调整金相显微镜照明零碎(灯丝地位等),以免影响成像质量
10、改换卤素灯时要留意低温,以免灼伤;留意不要用手直接接触卤素灯的玻璃体
审核编辑 黄宇
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