季丰电子新热场电子显微镜可帮助客户快速获取清晰的图像

季丰电子目前拥有蔡司GeminiSEM500扫描电镜SEM热场发射扫描电子显微镜，可为客户呈现任意样品表面更强的信号和更丰富的细节信息；尤其在低的加速电压下，可在避免样品损伤的同时，快速获取更高清晰度的图像。

同时，经优化和增强的Inlens探测器可高效地采集信号，帮助客户快速获取清晰的图像，并使样品损伤降至更低；在低电压下拥有更高的信噪比和更高的衬度，二次电子图像分辨率1kV达0.9nm，500V达1.0nm，无需样品台减速，即可进行分析。

设备规格指标

1、分辨率：15 kV时0.6nm；1 kV时 0.9nm (借助串联减速功能选项)

2、加速电压：0.02-30 kV 连续可调

3、放大倍数：×20-2,000K

4、探针电流：3pA-20nA

能谱与超级能谱

1、能谱仪(EDS) Oxford EDS System（UltimMax80）

2、EBSD Oxford EBSD System（Symmetry）

拍照效果

1、对于导电性差的有机物有很好的成像效果；

2、热场SEM对碳化硅注入P/N结的成像要比冷场SEM更新清楚。

审核编辑：彭菁