光刻技术就是用光把电路图画在硅片或线路板上。芯片是一种很小很强大的电子器件,它需要用很细的线条来画电路图。线路板是一种用来连接电子器件的平板,它只需要用比较粗的线条来画电路图。因此,芯片和线路板的光刻技术有以下几个区别:
光源不同:芯片需要用短波长的光,如紫外光、极紫外光等,这样才能画出很细的线条。线路板可以用长波长的光,如可见光或近红外光等,这样就比较容易穿透厚层的光刻胶。
光刻胶不同:芯片需要用正性光刻胶,即曝光后可溶解的光刻胶,这样才能画出复杂的电路图。线路板需要用负性光刻胶,即曝光后不可溶解的光刻胶,这样才能画出简单的电路图。
掩模不同:芯片需要用石英玻璃作为掩模(模板)的材料,这样才能保证电路图的精确传输。线路板可以用聚酯薄膜或金属薄膜作为掩模(模板)的材料,这样就比较便宜和方便。
成像方式不同:芯片需要用投影式或扫描式的成像方式,即通过物镜或扫描器将掩模上的图案缩小或扫描到硅片上。这样才能实现高精度、高效率、高均匀性等效果。线路板可以用接触式或近接触式的成像方式,即将掩模直接与线路板接触或靠近,并通过紫外灯管将图案曝光到线路板上。这样就比较简单、快速、节能等效果。
审核编辑 黄宇
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