苏大维格：28nm***光栅尺周期精度需小于2nm
据中国媒体报道，9月7日苏州苏大维格科技集团股份有限公司（苏大维格，300331.SZ）在投资者交流平台上写道：“贵公司的光栅尺最高分辨率是多少？准确度是多少？”28纳米工程需要小于2纳米的网格周期，公司相关产品需要小于1纳米的周期。考虑到秘密情报，详细的参数很难泄露。
公开的资料显示，苏大维格他致力于微纳关键技术，柔性智能制造、柔性光电子材料的创新应用，涉及微纳光学印材、纳米印刷、3D成像材料、平板显示（大尺寸电容触控屏，超薄导光板）、高端智能微纳装备（纳米压印、微纳直写光刻、3D光场打印等）的开发和技术产业化，2012年6月28日在深圳证券交易所a股创业板上市。该公司在今年7月的互动平台上表示：“公司向相关企业少量（少量）提供了用于半导体领域投影式***的位置追踪光栅尺部件，目前在相关收入中所占的比重非常低。”
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