MEMS即微机电系统(Microelectro Mechanical Systems),是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展,已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术,具有广阔的应用前景。
联合仪器MEMS测试系统UI320采用测试机加转台的构架,是对MEMS陀螺仪和加速度计的测试平台。可对MEMS传感器芯片进行测试,支持I2C/SPI的通讯方式,提供免费的开源软件底层API基于C开发,支持VC,VC++,labview等。
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