上两期介绍了粗糙度的概念、设备,也着重说明了白光干涉原理在粗糙度的应用优势,
而目前半导体、3C制造、材料、精密加工等领域,
除了粗糙度,还会涉及到台阶高度测量,微观领域的台阶从几个纳米到几百微米不等。
本期,小优博士带大家一起了解白光干涉在测量台阶高度的优势。
精度高
白光干涉仪精度可达亚纳米级别
多线测量 工具丰富
快速选取比探针式更多的截面,保证测量稳定性;
功能丰富,自动测量最高最低点、平均值,统计分析。
图2 , “晶圆切割台阶深度”(由 优可测EX-230,20X 拍摄)
低至0.02%反射率的表面也可以轻松采集点云成像。
图3,“超光滑玻璃镜面”(由 优可测EX-230 ,20X 拍摄)
非接触式测量
非接触式不会刮伤表面,
软质、尖锐产品可测。
图4,“软质材料凝固实验”(由 优可测ER-230 ,20X 拍摄)
广视野 速度快
倍率精度相同,可获得大视野。
以面的形式扫描,
一般在数秒钟内即可完成测量。
优可测白光干涉仪甚至可达400μm/s 扫描速度
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