光学轮廓仪检测原理是什么

以白光干涉技术为原理的光学轮廓仪，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。

接触式轮廓仪和一般的非接触式仪器均无法满足纳米级检测要求，只有结合了光学干涉原理和精密扫描模块的光学3D表面轮廓仪才适用。光学轮廓仪光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光*终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。