作原理,再介绍使用于汽车的MEMS技术智能化硅压阻式压力传感器的工作原理。 压阻式压力传感器
压力传感器在汽车上的使用
压力传感器工作原理片面
压力传感器可以广义地分为三类:压阻式压力传感器、电容式压力传感器和压电式压力传感器。
底下,本文将先介绍压阻式压力传感器的工作原理,再介绍使用于汽车的MEMS技术智能化硅压阻式压力传感器的工作原理。
压阻式压力传感器
压阻式压力传感器的压力敏感元件是压阻元件,它是基于压阻效应工作的。所谓压阻元件实际上即是指在半导体质料的基片上用集成电路工艺制成的分散电阻,当它受外力好处时,其阻值由于电阻率的变更而转变。分散电阻平常工作时需依附于弹性元件,常用的是单晶硅膜片。
压阻芯片采用周边固定的硅杯布局,封装在外壳内。在一块圆形的单晶硅膜片上,安插四个分散电阻,两片位于受压应力区,另外两片位于受拉应力区,它们构成一个全桥测量电路。硅膜片用一个圆形硅杯固定,双方有两个压力腔,一个和被测压力相持续的高压腔,另一个是低压腔,接参考压力,通常和压大气雷同。当存在压差时,膜片产生变形,使两对电阻的阻值发生变更,电桥落空平均,其输出电压反映膜片双方蒙受的压差大小。
现在,压力传感器是典范的汽车传感器,它宽泛地使用在汽车上。随后,它被宽泛地用于高压场所,如悬挂压力探测和空调制冷压力探测。现在,压力传感器更进一步地扩大到了高压场所,如汽油焚烧放射和柴油共轨焚烧放射系统。鲜明,压力传感器在汽车上有广阔的开展前景。
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