10.4.4 定向自组装光刻技术（DSA）∈《集成电路产业全书》
Directed Self-assembly Lithography（DSA）
审稿人：北京大学 蔡一茂 杨远程
https://www.pku.edu.cn
审稿人：北京大学 张兴
10.3 集成电路新材料
第10章 集成电路基础研究与前沿技术发展
《集成电路产业全书》下册
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。
举报投诉
-
DSA
+关注
关注
0文章
53浏览量
15889
发布评论请先 登录
相关推荐
热点推荐
喜报 | 匠芯创亮相2026珠海集成电路年会 荣膺集成电路杰出人物与创新集成电路人才
代表与行业技术精英，以思想碰撞赋能产业升级，共话集成电路领域的前沿趋势与生态共建之道。作为RISC-V工业应用芯片领域的创新力量，匠芯创携全系列芯片及多款应用方案
集成电路技术进步的基本规律
集成电路现今所达到的技术高度是当初人们难以想象的。在发明集成电路的1958年.全世界半导体厂生产的晶体管总数为4710万个,其中包括210万个硅晶体管,其余为锗晶体管。
台阶仪在集成电路制造中的应用：高端光刻胶材料纯化研究进展
随着集成电路制程节点不断向纳米尺度迈进，光刻技术已从紫外全谱（g线、i线）发展到深紫外（KrF、ArF）乃至极紫外（EUV）光源。光刻胶作为光刻
【「芯片设计基石——EDA产业全景与未来展望」阅读体验】+ 全书概览
、半导体手册、光电子芯片等构成集成电路关键技术与创新应用丛书。
华大九天，组编，刘伟平、吕霖、王宗源编著。编著介于编和著之间，既有原创内容，也有对他人资料的整理和引用。定位是既可作为EDA从业者的行业
发表于 01-20 19:27
【「芯片设计基石——EDA产业全景与未来展望」阅读体验】--全书概览
国内集成电路设计EDA行业领头羊一员，以实事求是、开拓创新，积极进取精神 向读者展现讲解，也是在激励集成电路EDA产业不断发展壮大，勇立潮头。
发表于 01-18 17:50
上海重磅发文：扶持集成电路产业、攻坚装备与光刻胶！
未来，上海将加快先导产业战略引领。支持集成电路企业瞄准装备、先进工艺、光刻胶材料、3D封装，实现全产业链突破，培育一批具有国际竞争力的龙头企业。同时深化全栈创新，推动高性能智算芯片加快
焕新启航·品质跃升 IICIE国际集成电路创新博览会，构建全球集成电路全产业链生态平台
为积极响应国家集成电路创新发展战略部署，加快推进集成电路产业良性发展生态，原“SEMI-e深圳国际半导体展暨集成电路产业创新展”正式升级为“
朗迅科技亮相金华集成电路公共服务中心揭幕暨产业技术研讨会
12月25日，智算芯生 共创未来—金华集成电路公共服务中心揭幕暨产业技术研讨会在金华盛大举行，标志金华集成电路产业发展正迈入系统化布局、生态
高云半导体入选山东省集成电路产业技术创新成果奖
2025年11月29日，山东济南——在山东省集成电路科技与产业创新发展对接交流活动上，高云半导体自主研发的GW5AT-LV60UG324高性能FPGA产品，凭借其卓越的技术创新能力和广泛的市场
跃昉科技亮相2025“中国芯”集成电路产业促进大会
11月14日，国家级集成电路产业盛会——2025年“中国芯”集成电路产业促进大会暨第二十届“中国芯”优秀产品征集结果发布仪式，在珠海横琴天沐琴台会议中心隆重举行。本次大会汇聚了来自全国
【「AI芯片：科技探索与AGI愿景」阅读体验】+半导体芯片产业的前沿技术
为我们重点介绍了AI芯片在封装、工艺、材料等领域的技术创新。
一、摩尔定律
摩尔定律是计算机科学和电子工程领域的一条经验规律，指出集成电路上可容纳的晶体管数量每18-24个月会增加一倍，同时芯片大小也
发表于 09-15 14:50
集成电路产业迎利好!两部门联合发布计量支撑行动方案
近日，市场监管总局与工业和信息化部联合发布《计量支撑产业新质生产力发展行动方案》(以下简称《方案》)，明确提出将重点支持集成电路等战略性新兴产业，通过突破核心计量技术瓶颈，助力
2024年深圳集成电路产业营收达2839.6亿 同比增长32.9%
近日，深圳市半导体行业协会咨询委员会主任周生明介绍了2024年深圳市半导体与集成电路产业发展情况。 周生明指出，据深圳市半导体行业协会统计，截至2024年底，深圳市共有集成电路企业727家，增长率
定向自组装光刻技术的基本原理和实现方法
定向自组装光刻技术通过材料科学与自组装工艺的深度融合，正在重构纳米制造的工艺组成。主要内容包含图形结构外延法、化学外延法及图形转移
评论