MEMS热式流量传感器是基于流体传热学原理的一类传感器,利用 MEMS 热式原理对管路气体介质进行流量监测。
流量芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成,热偶堆对称的分布在加热电阻的上、下游,加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。

当流体静止时,加热电阻两侧对称位置的温度是相同的,当流体从右向左流动时等温线向左侧倾斜,加热电阻两侧对称位置的温度不再相同,温差可由置于加热电阻两侧的热偶堆测定。由于流体的传热只与流体质量和流体的热容有关,因此传感器可以直接测出流体质量流量。
炜盛科技的流量传感器包含F1012、F1013、F1022、F1031/F1031V等型号,采用新一代MEMS传感器芯片技术,具有很好的精度与重复性。新推出的流量传感器是针对原有产品的升级开发,采用低压损设计,广泛用于各类气体流量测量。
产品特点
❖高灵敏度、高精度、低压损;
❖极低始动流量;
❖高测量重复性;
❖模块化设计;
❖可用于各类产品定制
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FR03流量传感器
FR03 型流量传感器是针对原 F1013 产品升级开发。


FR03H流量传感器
FR03H 型流量传感器是针对原 F1012 产品升级开发。


FR03H 技术指标
FR06流量传感器
FR06 型流量传感器是针对原 F1022 产品升级开发。


FR06 技术指标
FR20流量传感器
FR20 型流量传感器是针对原 F1031V 产品升级开发。


FR20 技术指标
流量传感器应用领域流量传感器能够用来测量无腐蚀,非强酸和强碱的气体,可用于空气采样器、分析仪、呼吸机、麻醉剂、制氧机、检漏仪、环境监测设备、 粒子计数器、打火机自动调火设备、气相色谱仪等多种领域。
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流量传感器
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