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10.4.3 纳米压印(NIL)∈《集成电路产业全书》

深圳市致知行科技有限公司 2022-04-16 15:10 次阅读
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Nanoimprint Lithography

审稿人:中芯国际集成电路制造有限公司 吴汉明

https://www.smics.com

美国科天(KAL-Tencor)公司 萧宏

审稿人:北京大学 张兴 蔡一茂

https://www.pku.edu.cn

10.3 集成电路新材料

第10章 集成电路基础研究与前沿技术发展

《集成电路产业全书》下册

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