Nanoimprint Lithography
审稿人:中芯国际集成电路制造有限公司 吴汉明
https://www.smics.com
美国科天(KAL-Tencor)公司 萧宏
审稿人:北京大学 张兴 蔡一茂
https://www.pku.edu.cn
10.3 集成电路新材料
第10章 集成电路基础研究与前沿技术发展
《集成电路产业全书》下册


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