TUV南德与北方华创联合发布《氢氦工艺气体爆炸性研究及测试》论文

北京2023年3月22日/美通社/ --3月8日，TUV南德意志集团（以下简称"TUV南德"）大中华区工业产品部与北方华创微电子装备有限公司（以下简称"北方华创"）联合发布的项目论文《氢氦工艺气体爆炸性研究及测试》被权威行业期刊《电气防爆》采纳，并录入中国核心期刊（遴选）数据库。TUV南德大中华区防爆服务部高级经理Ing. Kristof De Gersem先生作为TUV南德代表参与了论文的审核等工作。

《氢氦工艺气体爆炸性研究及测试》该篇论文旨在判定半导体生产过程中关于氢氦和混合气体的爆炸性风险，对芯片生产过程中使用的指定比例的氢氦混合物运用多种理论上的计算和分析，最后设计出一组实验装置来验证分析结果，也为半导体气体惰化过程工艺提供理论和试验参考。北方华创作为半导体行业领军企业，曾在SEMI S2等认证项目中与TUV南德有过深入合作。TUV南德作为欧盟ATEX防爆指令的指定机构之一，深耕市场多年，积累了的丰富的经验。此次参与北方华创的氢氦工艺气体爆炸性课题的研究与实验设计，体现了TUV南德本地专家在防爆领域的专业性。

TUV南德始终认为基础性研究并非只是半导体行业相关方的工作，作为全球知名第三方安全认证服务机构也有责任和义务为半导体行业的发展做出应有的贡献。Ing. Kristof De Gersem表示，"TUV南德很荣幸能携手本土半导体企业不断探索，双方充分发挥各自在行业、资源、技术人员等方面优势，深入进取，为半导体行业发展贡献绵薄之力。"

审核编辑黄宇