技术解读：氦质谱检漏仪的应用与优势

氦质谱检漏仪利用磁偏转原理制成的、对示漏气体氦反应灵敏的、用于检漏的质谱仪。氦质谱检漏仪气体工业名词术语，用氦气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦质谱泄漏检测仪在气体泄漏检测中有许多应用领域，如管道和设备泄漏检测、有害气体排放风险检测、空气污染源检测、燃料管道火灾隐患检测、空腔封装电子元器件密封性检测等。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

一、设备主要技术指标

1、最小可检漏率（真空模式）：5×10-13Pa·m3/s2、 最小可检漏率（吸枪模式）：1×10-7 Pa·m3 /s3、检漏口压力：Gross:1500 Pa; Fine:200 Pa; Ultra:40 Pa4、粗抽能力：14.5m3 /h(包装箱、配件总重130kg)5、氦气抽速（Gross模式）：8 l/s6、氦气抽速（Fine模式）：7 l/s7、氦气抽速（Ultra模式）：2.5 l/s8、 检漏口规格：DN 25 ISO-KF9、启动时间：≤170s10、接口：RS-232/485 USB11、输入/输出接口：Digital I/O,Relays

二、测试标准

JEDEC JESD22-A109B

在气密性检漏方面拥有丰富的经验和卓越的技术实力。实验室配备了先进的测试设备和严格的质量控制流程，能够为客户提供高标准的气密性检漏试验服务。

三、测试参数

气密性：Pa·m3/s、atm.cc/s、mbar·L/s

四、适用样品和大小尺寸

适用于大小不超过（长80mm*宽80mm*高40mm）需要做氦气检漏的空腔（实体中有一部分是空的）样品 。

五、为什么要检漏呢？

很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力作用下，流进或流出这个空间，如真空设备(真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等)，需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱的雪种容器等等)，要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要先进行检漏，使用过程中也要定期利用氦质谱检漏仪进行检漏检查。

六、漏气体的选择及特性分析

氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择一般应从以下几方面考虑：

1、无害，不能对人体或环境造成伤害;

2、质量轻，惰性气体，穿透能力强，能穿透微小细缝;

3、化学性质稳定，不会引起化学反应和易燃易爆;

4、在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体，满足检漏灵敏度方面的要求，减少本底干扰检测的准确性。氢和氦都是比较理想的示踪气体，空气中的含量少，质量轻，运动速度快，分子直径小，同等条件下，直线运动距离长。在实际使用中，也相对比较容易获取，可以大量使用。由于He具有无色、无臭、无活性、不可燃的特性，因此一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体，但也有用氢气(H)作为示漏气体的，考虑到它的化学性质及危险性，在应用中较少使用，所以实际大部分检漏使用的都是氦气。氦分子在质谱检漏仪器高真空的环境中扩散的速度很高，用氦气作示漏气体其本底噪声低，分子质量及粘滞系数小，因而极易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体是无破坏性、无毒、无危险，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有氦质谱检漏仪(调整到仅对氦起反应的工作状态)的被检容器上，若容器某一部位有漏孔，则氦质谱检漏仪立即有所反应，从而可知漏孔所在位置及检测到漏气量大小。