基于压电陶瓷驱动的引线键合用微夹钳/线夹/微夹持器

引线键合是一种微电子封装技术，用于将微小的电子元件(如晶体管、电容器、电阻器等)连接到电路板上。该技术使用金属线将电子元件的引脚连接到电路板上的金属焊盘上。这种技术通常用于制造集成电路和其他微电子设备。引线键合中使用的金属线通常非常细，约几十微米。

By Encik Tekateki - Own work, CC BY-SA 4.0

在引线键合过程中，需要微夹钳/线夹的配合，它在引线键合中的作用是固定和夹持引线，以确保引线在键合过程中不会移动或扭曲。这对于保持引线的位置和方向非常重要，因为引线的正确位置和方向可以确保电子元件的正确连接和性能。微夹钳/线夹通常通过自动方式进行操作，在引线键合过程中，被放置在引线的一端或两端，以确保引线的位置和方向正确。

由于引线键合中金属线非常细，因此要求微夹钳/线夹/微夹持器的夹持动作的位移在微米量级，既能保证夹持住金属线，又可保证不对金属线造成损坏，因此对夹持动作的控制要求较高。

基于上述原因，芯明天研发设计了基于压电陶瓷驱动、结合柔性机械的微夹持器-压电钳/线夹，它是一种微型机械装置，它使用压电陶瓷作为驱动元件，通过改变电压来控制压电陶瓷的形变，从而控制夹持器的夹持力。

芯明天压电微夹持器具有无间隙、无摩擦、结构紧凑、安装简单、无需润滑油等优点。由于采用压电陶瓷驱动，它又具有响应速度快、精度高、稳定性好等优点。芯明天微夹持器可用于微纳加工、微操纵、微装配等微型制造领域，可以夹持微小的零件或器件，实现微小尺寸的精密操作，在微型制造领域中得到了广泛应用。

芯明天为客户提供多种类型、参数的微压电线夹/夹持器，以下为几款标准型号，可根据所需夹持位移大小、是否需配备闭环传感器等要求进行选型。此外，也可根据设备结构进行微夹持器的定制。

XD002.90K微夹钳/线夹/微夹持器

型号	XD002.90K	单位
运动自由度	X
标称行程(0~120V)	±40	μm
行程范围(0~150V)	±50	μm
运动方向的推/拉力	10/1	N
空载阶跃时间	0.7	ms
静电容量	0.18	μF
材质	不锈钢
重量	10	g
通电钳口状态	打开

XD002.150K微夹钳/线夹/微夹持器

型号	XD002.150K	单位
运动自由度	X
标称行程(0~120V)	±60	μm
行程范围(0~150V)	±75	μm
静电容量	0.17	μF
材质	钢
重量	8.7	g
通电钳口状态	打开

XD002.200S微夹钳/线夹/微夹持器该微夹持器具有闭环传感器。

型号	XD002.200S	单位
运动自由度	X（闭环）
标称行程(0~120V)	±80	μm
行程范围(0~150V)	±100	μm
运动方向的推力	4	N
静电容量	7.2	μF
材质	钢
重量	305	g
通电钳口状态	闭合

以下几款为大行程的压电微夹持器，行程可达500μm或1mm。

压电线夹/压电钳1	参数值
夹持行程	500μm@150V
静电容量	1.8μF
空载谐振频率	180Hz
材质	钛合金

压电线夹/压电钳2	参数值
夹持行程	1000μm@150V
静电容量	3.6μF
空载谐振频率	110Hz
材质	钛合金

压电线夹/压电钳3	参数值
夹持行程	1000μm@150V
静电容量	3.6μF
空载谐振频率	90Hz
重复定位精度	0.5%F.S.
位移传感器	有
材质	钛合金

审核编辑黄宇