MEMS传感器在汽车领域的应用

MEMS传感器被认为是汽车不可缺少的部件，它对于提升汽车性能和驾驶体验，有着显著作用。研究机构数据显示，平均每辆汽车包含10個传感器，而高级汽车会约用20至30只MEMS传感器。宝马、奥迪、奔驰车的高端车型传感器普遍超过40个，越是高端的汽车采用的传感器数量越多，对传感器质量要求也愈高。

MEMS传感器可以提升汽车安全性、灵敏度并降低成本，其核心应用包括车辆的防抱死系统、车身稳定系统、电控悬挂、电动刹车、胎压监控、引擎防抖、车辆倾角计量等等。

依据传感器所处的控制系统，MEMS传感器可分为发动机控制传感器、底盘控制传感器、车身控制传感器及电气设备传感器四类；依传感器的测量原理，MEMS传感器可分为力学量传感器、磁学量传感器、热学量传感器、化学量传感器与微生物传感器五类。下面为大家介绍三种最重要的传感器

1.MEMS压力传感器

MEMS压力传感器主要应用于对汽车气缸负压、吸气压，涡轮发动机的升压比、油压等进行检测。检测气缸压力是优化汽车发动机性能的基础，因气缸内温度偏高，传统多利用压电传感器或是光纤传感器进行测量，其检测效果虽好，但成本偏高。当前谐振式硅压力传感器已实现批量生产，其可于高温环境下工作，且能保持较高测试精度，现已应用于测量汽车气缸压力。

MEMS压力传感器还可应用于监测汽车轮胎压力，部分汽车轮胎制造商已在轮胎当中埋置了利用MEMS技术所制造的微型压力传感器，以免轮胎充气不足或过量。

2、MEMS加速度传感器

加速度传感器被广泛应用于汽车安全气囊，汽车发生碰撞时及时将安全气囊打开。因此这种传感器的灵敏度直接影响驾驶员安全。此外MEMS传感器可用于对汽车发动机的振动状态进行测量，以点火提前角控制进行调整，以免发动机爆震。另还有安装于半主动悬挂系统减压器的传感器，其可保证汽车于调整置身和行驶于不平路面时的驾驶性能。

3、MEMS角速度传感器（陀螺仪）

角速度传感器（陀螺仪）主要应用于控制车辆姿态、发出翻车报警与汽车导航当中，其中汽车导航需利用到角速度传感器与车轮转速传感器，且要将其与汽车电子系统中的电子地图与GPS相互结合。当前表面微机械陀螺仪与音叉式陀螺仪已实现了批量生产，很多高级轿车当中均会安装此类传感器。

据悉，新能源汽车中，MEMS传感器的应用也有所增加，理想L9整车超25个视觉传感器，长安深蓝SL03可选装到27个传感器，小鹏P7或将配置31个传感器，前不久上市的亚迪海豹也有15个传感器，华为发布的阿尔法s的传感器则高达34个。

可以预见，MEMS传感器在汽车领域将继续保持高速增长。作为全球知名的自动化测试设备服务商，SPEA熟知各类传感器性能参数和MEMS测试要求SPEA将继续以更高效的测试设备来提升级MEMS器件的性能与稳定性。

审核编辑：汤梓红