差动电涡流传感器原理及应用

差动电涡流传感器测量原理：

差分测量系统是精密测量技术的重大进步。它们提供出色的分辨率、可重复性和归零精度，用于检测导电目标相对于一对非接触式传感器的对齐/居中位置。

对于差分测量应用，每个通道有两个精确匹配的传感器位于目标的相对两侧或两端。在这种传感器到目标的关系中，当目标远离一个传感器时，它向另一个传感器移动等量。输出为差分和双极。同一电桥的相对腿上的电子匹配传感器提供了卓越的热稳定性。

差动电涡流传感器应用领域：

超高精度宇航应用、中继镜片激光定位（RME）、激光反射镜聚焦平台定位、半导体圆晶片制造中的超高精确激光聚焦、精确望远镜定位、磁悬浮轴定位、低温（液氮环境测量金属位移变化）、真空应用（传感器和KD5100的电子器件都已用在10-6托的真空应用中）……

KD5100及DIT5200系列都是基于差分系统的电涡流传感器。KD5100纳米级差动电涡流传感器主要特点：

（1）、每通道两个精确匹配的传感器使分辨率达到1nm；
（2）、超耐热，长时间稳定：1.27x10-4mm/月或更好；
（3）、有耐低温传感器；
（4）、超高灵敏度，最高到394 mV/µm；
（5）、低功耗：小于2W(±15 Vdc典型情况下)；
（6）、探头和控制器都可用于低至10-6Torr的真空应用；
（7）、小尺寸：2 x 2.12 x 0.75 英寸厚。

KD5100纳米级差动电涡流传感器参数：

审核编辑 黄昊宇