导电滑环在单晶炉设备中应用有哪些

本技术涉及用于真空设备中籽晶棒传动机构的水电连接机构。 现在，用公知单晶炉设备的种晶棒传动机构自转的水、电的连接结构很重，大多用轴承、橡胶环、帽等部件实现轴水冷的密封，不仅轴密封不可靠，而且结构庞大，安装、维护时也不方便。

单晶炉的构成主要如下。

拉晶头：主要由安装盘减速器种子型腔划线电机磁流体种子重量头软波纹管、导电性滑环等其他部件组成。

副室：主要由副室筒及上下及凸缘组成

炉盖：由副室连接凸缘、反板阀、观察窗抽真空管路组成

炉筒：包括取光孔

下炉筒：包括抽真空配管

基础机架：主要是全铸铁机架和基础

坩埚下传动装置：主要由磁流体电动机坩埚支撑轴减速器软波纹管柱上下传动支撑框导轨等组成

分水器已经是水路配置，包括分水器、供水水管、几个软管水管罩等。

氩管配置：质量流量计3根以上柔性管不锈钢管3个压力探测器高密封性咬入等部件

真空泵及真空除尘装置：液压真空泵水环真空泵过滤器真空配管硬波纹管等

电源及控制柜：电源柜滤波器柜控制柜及连接线。

默孚龙科技针对上述存在的技术问题，为了解决籽晶棒传动机构在水、电方面的安装、维护的不便等问题，提供了全局合理紧凑、操作方便的水电连接机构。 为了实现上述目，技术方案是，配置在安装于籽晶轴的导电性滑环的上方，其内圈固定于籽晶轴的旋转接头;导电滑环的外圈分别经由连接板固定于固定框架，旋转接头和籽晶轴内孔采用内环旋转外环不旋转的旋转接头和导电性滑环，实现了籽晶轴自转时的水电连接，使水管和电缆的安装、维护变得容易

审核编辑 黄昊宇