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加速国产光刻胶进程!华懋科技增资6亿元加大光刻胶开发和研制

章鹰观察 来源:电子发烧友整理 作者:章鹰 2021-09-13 09:20 次阅读
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(电子发烧友网报道 文/章鹰)光刻机和光刻胶的进展一直是半导体行业关注的焦点。众所周知,光刻工艺约占整个芯片制造成本的 35%,耗时占整个芯片工艺的 40-50%,是半导体制造中最核心的工艺。而光刻胶则是光刻过程的关键耗材,一般由由感光树脂(聚合剂)、增感剂(光引发剂)、溶剂与助剂构成。光刻胶的质量和性能对光刻工艺有着重要影响,因其技术壁垒高而长期被海外大厂所主导,是半导体国产化的一道大坎。

光刻胶经过几十年不断的发展和进步,应用领域不断扩大,衍生出非常多的种类,根据应用领域,光刻胶可分为半导体光刻胶、 平板显示光刻胶和 PCB 光刻胶,其技术壁垒依次降低。

来自方正证券

据行业专家向记者透露,目前在显示领域能够量产并且给大厂供货的,只有容大感光和彤程程新材下面的北京科华。行业新锐企业有鼎材、新艺华、固润科技和博彦电子等。截至目前,国内能够批量供应KrF、ArF光刻胶的厂商却为数不多。SEMI数据显示,日本几大厂商(包括信越化学、东京应化(TOK)、住友化学)在g线/i线、KrF、ArF胶市场中市占率分别为61%、80%、93%,而国内g线/i线自给率约为20%,KrF光刻胶的自给率不足5%,12寸硅片的ArF光刻胶目前尚无国内企业可以大规模生产。

9月12日晚间,据华懋科技发布公告,为推进在半导体材料领域的产业布局,公司于2021年9月11日召开2021年第八次临时董事会,审议通过了《关于公司拟向全资子公司增资的议案》、《关于公司全资子公司拟向东阳凯阳增资的议案》、《关于东阳凯阳拟与徐州博康、东阳金投、袁晋清发起设立合资公司的议案》。

公司拟以自有资金对全资子公司华懋(东阳)新材料有限责任公司(简称“华懋东阳”)进行增资,增资总金额为6亿元人民币。

增资完成后,华懋东阳总注册资本变更为15亿元人民币,仍为公司的全资子公司。华懋东阳拟以自有资金对参与设立的合伙企业东阳凯阳科技创新发展合伙企业(有限合伙)(简称“东阳凯阳”)进行增资,增资金额为4.5亿元人民币。本次增资完成后,东阳凯阳总认缴金额变更为15亿元,华懋东阳的认缴比例为89.87%,东阳凯阳仍纳入公司的合并报表范围。

东阳凯阳拟与徐州博康信息化学品有限公司(简称“徐州博康”)、东阳市金投控股集团有限公司(简称“东阳金投”)、袁晋清先生签署《合资协议》共同发起设立合资公司,其中东阳凯阳认缴注册资本2.8亿元人民币,持股比例40%。

早在7月21日,华懋科技曾披露《华懋(厦门)新材料科技股份有限公司关于公司参与的合伙企业对外投资进展公告》,其中提到的合格投资者现在可以确定为华为哈勃。根据当时公告披露的信息,华为哈勃此次投资金额为3亿元,投后持有徐州博康10%股份,上市公司华懋科技通过东阳凯阳科技创新发展合伙企业(有限合伙)间接持有徐州博康24%的股份。傅志伟通过上海博康企业集团有限公司直接和间接持有徐州博康39.43%股权,为公司实际控制人。


本文资料来自上海证券报和SEMI,本文整理发布。

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