探究光刻机微影技术是通过什么实现的？-电子发烧友网

编辑：jq

声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。举报投诉

光刻机

光刻机

+关注

关注
31

文章
1202

浏览量
49074

原文标题：干货 | 光刻机微影技术是通过什么实现的？

文章出处：【微信号：wc_ysj，微信公众号：旺材芯片】欢迎添加关注！文章转载请注明出处。

收藏人收藏

扫一扫，分享给好友

复制链接分享

加入交流群

扫码添加小助手

加入工程师交流群

发布评论请先登录

俄罗斯亮剑：公布EUV光刻机路线图，挑战ASML霸主地位？

电子发烧友网报道（文/吴子鹏）在全球半导体产业格局中，光刻机被誉为 “半导体工业皇冠上的明珠”，而极紫外（EUV）光刻技术更是先进制程芯片制造的核心。长期以来，荷兰 ASML 公司几乎垄断

发表于 10-04 03:18 •1.1w次阅读

俄罗斯亮剑：公布EUV<b class='flag-5'>光刻机</b>路线图，挑战ASML霸主地位？

AI需求飙升！ASML新光刻机直击2nm芯片制造，尼康新品获重大突破

*1(L/S*2)高分辨率。扇出型面板级封装（FOPLP）技术为何会获得台积电、三星等代工大厂的青睐？比较传统的光刻机设备，尼康DSP-100的技术原理有何不同？能解决AI芯片生产当中的哪些痛点问题？针对2nm、3nm芯片制造

发表于 07-24 09:29 •8930次阅读

AI需求飙升！ASML新<b class='flag-5'>光刻机</b>直击2nm芯片制造，尼康新品获重大突破

垄断 EUV 光刻机之后，阿斯麦剑指先进封装

电子发烧友网综合报道当全球半导体产业陷入 “先进制程竞赛” 的白热化阶段，极紫外（EUV）光刻机作为高端芯片制造的 “皇冠上的明珠”，成为决定产业格局的核心力量。荷兰阿斯麦（ASML）作为全球唯一

发表于 03-05 09:19 •2872次阅读

光刻机的“精度锚点”：石英压力传感器如何守护纳米级工艺

在7纳米、3纳米等先进芯片制造中，光刻机0.1纳米级的曝光精度离不开高精度石英压力传感器的支撑，其作为“隐形功臣”，是保障工艺稳定、设备安全与产品良率的核心部件。本文聚焦石英压力传感器在光刻机中

发表于 12-12 13:02 •1070次阅读

德州仪器 DLP® 技术为高级封装带来高精度数字光刻解决方案

能力及每秒 110 千兆像素的数据传输速率，在满足日益复杂的封装工艺对可扩展性、成本效益和精度要求的同时，消除对昂贵掩模技术的依赖。 TI DLP 技术造就高级封装领域的无掩模数字光刻系统关键所在无掩模数字

发表于 10-20 09:55 •1409次阅读

国产高精度步进式光刻机顺利出厂

近日，深圳稳顶聚芯技术有限公司（简称“稳顶聚芯”）宣布，其自主研发的首台国产高精度步进式光刻机已成功出厂，标志着我国在半导体核心装备领域取得新进展。此次稳顶聚芯出厂的步进式光刻机属于WS180i

发表于 10-10 17:36 •2903次阅读

如何确定12英寸集成电路新建项目中光刻机、刻蚀机等不同设备所需的防震基座类型和数量？-江苏泊苏系统集

确定 12 英寸集成电路新建项目中光刻机、刻蚀机等核心设备的防震基座类型与数量，需遵循 “设备需求为核心、环境评估为基础、合规性为前提” 的原则，分步骤结合设备特性、厂房条件、工艺要求综合判断，具体流程与关键考量如下：

发表于 09-18 11:24 •1433次阅读

如何确定12英寸集成电路新建项目中<b class='flag-5'>光刻机</b>、刻蚀<b class='flag-5'>机</b>等不同设备所需的防震基座类型和数量？-江苏泊苏系统集

【「AI芯片：科技探索与AGI愿景」阅读体验】+半导体芯片产业的前沿技术

%。至少将GAA纳米片提升几个工艺节点。 2、晶背供电技术 3、EUV光刻机与其他竞争技术光刻技术是制造3nm、5nm等工艺节点的高端半导

发表于 09-15 14:50

今日看点丨全国首台国产商业电子束光刻机问世；智元机器人发布行业首个机器人世界模型开源平台

8nm，专攻量子芯片和新型半导体研发的核心环节，可通过高能电子束在硅基上手写电路，无需掩膜版即可灵活修改设计，其精度已比肩国际主流设备。据介绍，与传统光刻机相比，电子束光刻机在原型设计、快速迭代和小批量试制方面具有独特优势

发表于 08-15 10:15 •3262次阅读

今日看点丨全国首台国产商业电子束<b class='flag-5'>光刻机</b>问世；智元机器人发布行业首个机器人世界模型开源平台

全球市占率35%，国内90%！芯上微装第500台步进光刻机交付

电子发烧友网综合报道，近日，上海芯上微装科技股份有限公司（简称：芯上微装，英文简称：AMIES）第500台步进光刻机成功交付，并举办了第500台步进光刻机 交付仪式。

发表于 08-13 09:41 •2650次阅读

全球市占率35%，国内90%！芯上<b class='flag-5'>微</b>装第500台步进<b class='flag-5'>光刻机</b>交付

光刻机实例调试#光刻机 #光学 #光学设备

光刻机

jf_90915507

发布于 :2025年08月05日 09:37:57

搜索历史

探究光刻机微影技术是通过什么实现的？

评论