尽管被夹在中美之间，ASML仍积极努力

‍当地时间10月14日，半导体巨头、全球光刻机领头企业ASML首席财务官罗杰·达森（Roger Dassen），对向中国出口光刻机的问题作出了表态。他表示，ASML可以从荷兰向中国出口DUV（深紫外）光刻机，无需美国许可。

但，大家都懂。DUV光刻机非ASML最先进的产品。10nm及以下的芯片制造，EUV光刻机必不可缺。中芯国际的7nm（N+1工艺），并非国际公认的7nm，更类似与台积电10nm，使用DUV光刻机制造。

据了解，EUV光刻机不需要多重曝光，一次就能曝出想要的精细图形，没有超纯水和晶圆接触，在产品生产周期、光学邻近效应矫正的复杂程度、工艺控制、良率等方面都有明显优势。

当天，ASML发布了其2020年第三季度财报，达森也一同接受了视频采访。当被问及美国的半导体出口禁令对ASML的业务有何种影响时，达森回应称，他们注意到了美方的禁令，也意识到了禁令对中国客户的影响。 随后达森对ASML的光刻机出口问题作出了解释，他说：“如果要解释一下美国的规定对ASML有什么影响的话，对于的中国客户，我们还是可以直接从荷兰向他们出口DUV光刻机，无需任何出口许可。” 但他随后也补充称，如果相关系统或零件是从美国出口的，那这些设备仍然需要得到美方的许可。

采访视频截图 达森表示，ASML将尽最大努力，尽可能为所有客户继续提供服务和支持。 根据公开的财报电话会议录音，ASML首席执行官彼得·韦尼克（Peter Wennink）也在会议上确认了这一点。韦尼克称，根据当前美国的规定，直接从荷兰向中国出口的DUV光刻机不受影响。 但达森和韦尼克都强调的是DUV光刻机出口，并未提到更先进的EUV（极紫外）光刻机。彭博社14日在报道中也强调，DUV的规则不适用于EUV光刻机。ASML必须获得许可证才有可能向中国企业出口EUV光刻机。但荷兰政府已经暂缓了EUV光刻机出口许可，一直到现在都没有批准。

“尽管被夹在中美之间，ASML仍积极努力”

根据ASML发布的财报，2020年第三季度ASML光刻机净销售额达31亿欧元，中国大陆市场的营收占到21%。第三季度ASML总计净销售额达到约40亿欧元，净收入近11亿欧元。值得一提的是，EUV光刻机的收入占比极高，贡献了66%的光刻机销售额。 今年5月，ASML与无锡高新区签署了战略合作协议，在无锡高新区内扩建升级阿斯麦光刻设备技术服务（无锡）基地。此前，ASML已在北京、上海、深圳、无锡等地开设分公司，为客户提供服务和咨询，其中深圳是其在亚洲最大的软件研发中心。

原文标题：ASML表态：DUV可以！EUV不行！

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责任编辑：haq