昆山双桥公司的四种高频动态压力传感器

昆山双桥传感器测控技术有限公司

昆山双桥传感器测控技术有限公司是中科院昆山高科技产业园、国家火炬计划昆山传感器产业基地核心骨干企业。公司以MEMS压阻压力传感器为主导产品，兼及其它相关传感器、变送器，自控仪表及系统的开发、生产与销售。

双桥公司是国内最早开发MEMS技术压力传感器研究的几个单位之一，是国内较少的几个坚持从MEMS力敏芯片的设计、制造做起，因而具有自主知识产权，确立了以高、特、难、新MEMS压力传感器为企业主发展方向。

高频动态压力传感器

在军事工程、化爆试验、石油勘采与试井、材料、力学、土木工程学、岩土力学、创伤医学、液压动力机械试验等科学试验与现代化仪器仪表中，需要不失真地测量一些变化频率高、压力波形上升快陡的动态压力波形与幅值、有效值，这就要求所用压力传感器具有高的固有频率、极短的上升时间和宽广优良的响应频带，以保证足够的动态测压精度，本系列产品即是为此设计开发的，它利用微机械加工技术使得集成硅膜片有效尺寸小，固有频率高;有优良的弹性力学特性，全齐平封装无管腔封装，综合性能优于压电动态压力传感器，成为动压测试中压电压力传感器的换代产品。其独有的芯片防光抗干扰设计，可适用与近场爆轰测量，美国军标和我国军标在爆轰动态测量标准中都推荐首选压阻式压力传感器。

1、CYG401齐平封装高频压力传感器

1、特点及用途：

无管腔全齐平结构，优越的静态性能及动态响应能力，低噪声，高分辨率，高信噪比，带防光干扰，可选配双屏蔽互绞专用抗干扰电缆。该产品能用于各种爆炸冲击波测量及动态压力测量。

2、压力量程：

0～1Mpa～100Mpa内可任选量程

3、固有频率及上升时间（可用带宽：0～1/3固有频率）

量程 MPa	1	2	4	6	10	20	40	60	100
固有频率 kHz	180	240	320	250	320	450	600	800	1000
上升时间μm	1	1	0.5	0.5	0.5	0.3	0.3	0.2	0.2

4、非 线 性：

±0.2％～±1％

5、精度等级：

档级指标	零点时漂 mv/8h	零位温度系数 X10-4FS/℃	灵敏度温度系数 X10-4FS/℃	非线性 ±％FS	不重复性、迟滞 %FS
JA	0.1	3	3	0.5(1.0*)	0.3
JB	0.1	2	2	0.2(0.5*)	0.1
MA	0.5	5	5	0.5(1.0*)	0.3
MB	0.15	3	3	0.2(0.5*)	0.2

注：*为40Mpa以上量程参数

6、测量介质温度：

J级0℃～450℃；M级10℃～300℃（特殊措施下可耐2000℃/200ms或1000℃/1000ms）

7、补偿温度范围：

J级30℃～100℃；M级30℃～80℃。（亦可按用户要求特订）

8、抗光干扰特性：

J级加强抗红外及可见光；M级抗自然可见光。

9、 安装接口：

M20×1.5，螺纹深12mm

10、出线方式：

航插、霍斯曼、直出线三种可选（建议直出线式或航插式）

11、供电方式：

恒压源或恒流源

12、输出方式：

差分毫伏信号

13、测量介质：

与硅﹑不锈钢兼容的无腐蚀非导电性介质（如有特殊测量介质需提前告知）

14、壳体材料：

不锈钢

15、冷却水压力：

不小于300kpa，严禁工作期间停压或掉管；不大于700kpa，防止爆管

2、CYG406准齐平动态微压传感器

1、特点及用途：

微管腔准齐平结构，优越的静态性能及动态响应能力，低噪声，高分辨率，高信噪比，可下延至微压量程段，可选配双屏蔽互绞专用抗干扰电缆。该产品用于动态要求较高的微小量程动态压力测量，如小剂量爆轰或动态工况下的结构表面压力场测试分析。

2、压力量程：

0～1kpa～600kpa

3、固有频率及上升时间（可用带宽：0～1/5固有频率）

量程 MPa	1	4	10	25	100	250	600
固有频率 kHz	>5	>5	>20	>100	>150	>300	>300
上升时间μm	5	5	2	1	1	0.5	0.5

4、非 线 性：

±0.2％～±0.5％

5、精度等级：

档级指标	零点时漂 mv/8h	零位温度系数 X10-4FS/℃	灵敏度温度系数 X10-4FS/℃	非线性 ±％FS	不重复性、迟滞 %FS
JA	0.15	3	3	0.5	0.2
JB	0.1	2	2	0.2	0.1
MA	0.3	5	5	0.5	0.3
MB	0.2	3	3	0.2	0.2

6、测量介质温度：

-50℃～120℃

7、补偿温度范围：

J级-20℃～80℃ M级0℃～50℃，亦可按用户要求特订。

8、抗光干扰特性：

抗自然可见光

9、 供电方式：

①恒流源或恒压源 ②±15VDC

10、输出方式：

①差分毫伏信号，标称值100mV±30%（100kpa以上）；50mV±40%（100kpa以下）

②配有放大器标准值，0～5V

11、测量介质：

与硅﹑不锈钢兼容的无腐蚀非导电性介质（如有特殊测量介质需提前告知）

3、CYG410低压自由场高频动态压力传感器

1、特点及用途：

流线型无反射外型，无管腔全齐平结构，优越的静态性能及动态响应能力，低噪声，高分辨率，高信噪比，带防火护线管，最小量程可下沿至50kpa，可选配双屏蔽互绞专用抗干扰电缆。该产品用于各种小压力爆炸冲击波自由场压力测量。

2、压力量程：

0～50kpa～500kpa

3、固有频率及上升时间（用带宽：0～1/3固有频率）

量程kpa	50	100	200	340	500
固有频率kHz	80	100	120	150	180
上升时间μs	2	2	1	1	1

4、非 线 性：

±0.2％～±0.5％

5、精度等级：

指标/档级	零点时漂 mv/8h	零位温度系数 ×10-4FS/℃	灵敏度温度系数 ×10-4FS/℃	非线性 ±％FS	不重复性、迟滞 %FS
JA	0.2	5	5	0.5	0.2
JB	0.15	3	3	0.2	0.1

6、测量介质温度：

-50℃～120℃（特殊措施下可耐2000℃/20ms）

7、补偿温度范围：

0℃～50℃。（亦可按用户要求特订）

8、抗光干扰特性：

抗自然可见光

9、 直径：

Φ34mm，Φ25mm(如需特殊尺寸需提前协商)

10、供电方式：

①恒流源或恒压源 ②±15VDC

11、输出方式：

①差分毫伏信号，输出灵敏度2～4mV/V（200kpa以下） 5～10mV/V（400kpa以上） ②配有放大器，标准值0～5V

12、测量介质：

与硅﹑不锈钢或合金铝兼容的无腐蚀介质（如有特殊测量介质需提前告知）

4、CYG412高压自由场高频动态压力传感器

1、特点及用途：

流线型无反射外型，无管腔全齐平结构，优越的静态性能及动态响应能力，低噪声，高分辨率，高信噪比，带防光干扰，带防火护线管，可选配双屏蔽互绞专用抗干扰电缆。该产品能用于各种高压爆炸冲击波自由场压力测量。

2、压力量程：

0～20Mpa～100Mpa

3、固有频率及上升时间（可用带宽：0～1/3固有频率）

量程kpa	20	40	60	100
固有频率kHz	450	600	800	1000
上升时间μs	0.3	0.3	0.2	0.2

4、非 线 性：

±0.5％～±1.0％

5、精度等级：

指标/档级	零点时漂 mv/8h	零位温度系数 ×10-4FS/℃	灵敏度温度系数 ×10-4FS/℃	非线性 ±％FS	不重复性、迟滞 %FS
JA	0.1	3	3	1.0	0.3
JB	0.1	2	2	0.5	0.2

6、测量介质温度：

－50℃～120℃（特殊措施下可耐2000℃/20ms）

7、补偿温度范围：

J级-10℃～60℃（亦可按用户要求特订）

8、抗光干扰特性：

J级加强抗红外及可见光

9、 直 径：

Φ34mm，Φ25mm(如需特殊尺寸需提前协商)

10、供电方式：

①恒流源或恒压源 ②±15VDC

11、输出方式：

①差分毫伏信号，标称值100mV±30% ②配有放大器，标准值0～5V

12、测量介质：

与硅﹑不锈钢兼容的无腐蚀介质（如有特殊测量介质需提前告知）

责任编辑：xj

原文标题：昆山双桥高频动态压力传感器

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