容积真空泵标准释疑，基础压力和极限压力是什么

（文章来源：iVacuum）

容积真空泵有许多产品标准和试验方法标准，有的是多年未修改，有的是近些年来已进行了修订，但还有一些方面需要研究和探讨。ISO也发布了一些新标准，需要根据我国的具体情况进行选择性地贯彻。对此，根据我们多年的实践和研究，提出一些新的看法和见解。

极限压力的定义是：泵装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压力。这就是说，它是一个无限的渐近的值，就象数学中的无穷小一样，它是一个变量，在变化过程中它永远也达不到所谓的极限和最低，是一个无法测量的值。

也正如ISO21360-2007指出的，极限压力是测试罩内渐近的压力值，它是泵可获得的最低压力，但没有一个实际的测量方法或规范。因此，我们通常所测得的所谓极限压力，只不过是假定的、人为认定的极限压力值，它没有实际意义。

ISO21360-2007提出了一个新概念——基础压力，它的定义为：真空泵和测试罩达到工作条件后，测试罩内的压力。又指出，通常测试罩指定位置所测得的压力即为基础压力。我们认为它的定义说得不够明白、不够确切、也不够全面。

我们认为基础压力正确的定义应为：“泵按规定条件工作，在不引入气体的情况下，标准测试罩内趋向稳定的压力”。它与原来的极限压力的定义相比较，基础压力的定义中取消了关键的“最低”一词，也就没有了极限的含义，因此，这是一个可以测量的值，虽然是趋向稳定，但也已经离稳定不太远了。

泵按规定条件工作，在不引入气体的情况下，至少运转lh(气镇泵应预先在气镇状态下至少运转lh)，每间隔30min测量一次测试罩内压力，当连续三次测量结果表明压力不再变化，即认为达到了基础压力，分压和全压的测量应同时进行。气镇泵应在上述测量后，完全打开气镇阀，泵温稳定后重新测量气镇时的基础压力。

分压一直是用压缩式真空计测量的，它的工作液是汞，考虑到环境污染，国际上非常重视限制和禁止使用汞的工作，我国最大的汞使用行业—氯碱行业已明确汞污染防治的总体规划时间表，2021-2030年为无汞化阶段。禁止使用汞的时代终将来到，但到目前为止还没有一种仪表可以取代它来直接测量分压，因此这项工作必须抓紧进行。在现阶段，建议用薄膜真空计(加冷阱)来测量分压，或者是干脆取消分压的考核和测量，因为分压对用户来说并没有多少实用意义，国外不少公司也已取消了分压指标。

全压用薄膜真空计测量。薄膜真空计中常用的是差动式双电容薄膜计，它不但测量精度高，而且测量下限可达10-3Pa。它有一个高真空基准膜盒，薄膜计的示值实际上是传感器的测量值与基准膜盒相比较的结果，基准膜盒由于存在着放气和漏气，它的真空度会非常缓慢、不断地下降，因此薄膜计的零位应该经常进行校准，尤其是对低量程的1Torr(133Pa)和0.1Torr(13Pa)的传感器而言，它的影响更大，故基准膜盒应根据具体变化情况，及时进行高真空处理或更换。

还有一点必须注意，薄膜真空计在使用中，低量程传感器绝对不可充入大气，即使在停止使用期间，也必须保持在较高的真空状态下，以免膜片产生永久变形，影响薄膜真空计的测量准确度。

热传导真空计从结构上分析，它应该有较好的测量准确度，但市场上各种真空计之间相对误差较大，即使是同一厂商生产的真空计之间也有类似问题，因此使用部门必须要有校准设备，定期进行校准，以保证热传导真空计的测量准确度，才能满足泵性能测量的要求。
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