我国光刻机技术处于一个什么水平，未来发展将会何如

（文章来源：科技晴）

我国的光刻机目前能做的只有90nm制程，而荷兰的ASML 最新EUV工艺光刻机可以做到7nm制程、6nm制程、5nm制程，并且一台顶级的光刻机需要上万个零部件，需要不同国家的各个顶级部件，售价也高达7亿人民币。我们国家技术差就差在没有得到各个公司的顶级技术支持，以及国外对于光刻机关键部件的封锁。看完以下荷兰ASML光刻机为什么能够成功，就可以知道我们究竟差在哪里。

荷兰ASML公司是目前全球顶级光刻机的扛把子，虽然说尼康(Nikon)和佳能(Canon) 也能够提供商用的光刻机，但它们与ASML光刻机市场占有率相比还是差非常多，ASML占据了全球80%以上的份额。

制造光刻机所需要的镜片、光栅都是由德国和美国提供，这两样东西对我们国家来说都是禁止销售的，也就是我们有钱也不可能买的到。我们就以德国蔡司公司提供的镜头来说，据说这个工厂祖孙三代从事同一个职位，制造镜头技术根本不外传，镜片材质要做到均匀，需几十年到上百十年技术积淀。

再加之荷兰ASML公司有一个模式，那就是只有投资它的公司才能够优先得到他们的顶级光刻机。例如蔡司就是投资了ASML，占据了它超过20%的股份。这些公司不单单投资它，也给它提供最新的技术，这样它就不是孤军奋战状态，做到了技术分工。像三星、英特尔、台积电都对它有一定的投资，才能够优先获得它的最先顶级的光刻机。

荷兰虽然是一个小国家，但它对知识产权特别的重视，这让ASML有很多自己的知识技术产权。一旦它拥有了这个产权，别人是不能够再使用，使用需要缴纳一定费用，这也就自然成就了ASML全球霸主的地位。根据WTO公布的数据，近十年来，全球知识产权使用费出口排名中，荷兰（仅包括五年的数据）达到2392亿美元，仅次于美国和日本，超过英国，法国，德国等欧洲大国。

我们都知道华为投资超级多才造就了如今的海思麒麟处理器，而ASML的顶级光刻机也是一样。在2019年 荷兰ASML公司全球销售额大概是21亿欧元左右，它拿出了4.8亿欧元进行技术研发，研发费用占营收的比例达到22.8%。因此它的成功不是偶然，是必然。

我们国家的光刻机主要是以上海微电子设备研究所的为主，它做的是国内比较先进的了，它的SMEE200系列光刻机只有90nm。其它的就更不能提了，例如合肥芯硕半导体公司都只能够拥有200nm工艺。当时上海微电子的总经理去德国考察时，人家曾经明确的说，就算我们给你们全套的图纸，你们也不可能做出来我们这种光刻机。

它之所以能够说出这种话，也不是对我们的一种鄙视，而就是现实。因为这个光刻机堪称人类智慧集大成的产物，它被称为现代光学工业之花。曾经有人这样形容它的工作过程，就像坐在一架超音速飞行的飞机上时，拿着线头穿进另一架飞机上的针孔。

虽然最近不断的有好消息，例如2018时中科院的“超分辨光刻装备研制”通过验收，它的光刻分辨力达到22nm，结合双重曝光技术后，未来还可用于制造10nm级别的芯片。但是与ASML比起来还是差很远，并且它是处于实验室阶段，想要真正商业化使用还是需要一段时间。而反观现在的ASML，它的EUV光刻机，已经可以达到7nm，甚至5nm。因此我们的光刻机还处于不利地位，需要很长一段路要走。

通过以上的介绍大家就可以知道我们与他们究竟差在哪里，这并不能说我们不行。而是因为这个东西需要的部件太多了，也需要不同企业顶尖技术支持，只有把它们顶级技术进行整合才能够做出顶级光刻机。而我们现在是肯定不行的，因为美国、欧盟对光刻机关键部件、技术都是严格封锁，有再多的钱都不一定会出售。我们差就差在没有整个行业顶级技术支持，以及先进的镜片支持。

我们要做的仍然是不断加大研发投入，就像海思麒麟处理器一样，只有不断投入研发，技术积累，各个行业紧密合作帮助才能够做出顶级光刻机。2G、3G、4G一直落后于人，5G我们做到了领先。虽然我们现在光刻机很弱，但是相信经过一段时间技术积累，我们仍旧可以做到领先，未来可期。
（责任编辑：fqj）