Epitaxy工艺技术让微型LED前景大好

英国谢菲尔德大学(University of Sheffield)正式成立了附属公司EpiPixLtd，该公司正在开发和商业化用于光电子应用的微LED技术，该技术可用于便携式智能设备的微显示器、增强现实(AR)、虚拟现实(VR)、3D传感和可见光通信(Li-Fi)。

在王涛教授和他的电子电气工程系团队的研究支持下，该公司正在与全球企业合作开发下一代微LED产品。

Sheffield大学表示，这种预生产技术已经在单片芯片上演示了具有高光效和均匀性的多色微LED阵列。EpiPix发展强劲micro-LED磊晶硅晶圆（EpiWafer）和红色,绿色和蓝色波长与micro-LED像素大小范围从30μm 10μm的产品解决方案。并展示了原型直径小于5μm的技术。

EpiPix是一个商业驱动的技术中心，拥有世界范围内所有micro-LED知识产权的独家商业权利。

EpiPix首席执行官兼董事Dennis Camilleri认为:“这是一个激动人心的机会，也是micro-LED市场的大好时机，我们可以将优秀的科学成果转化为有利可图的micro-LED产品。我们已经与行业客户合作，以确保EpiPix符合他们的短期产品需求和未来的技术路线图。”

在美国旧金山2020美国西部光电展(2月3-6日)上，EpiPix将会展示该技术成果。

小科普——什么叫EpiWafer？

外延(Epitaxy, 简称Epi)工艺是指在单晶衬底上生长一层跟衬底具有相同晶格排列的单晶材料，外延层可以是同质外延层(Si/Si)，也可以是异质外延层(SiGe/Si 或SiC/Si等)；同样实现外延生长也有很多方法，包括分子束外延(MBE)，超高真空化学气相沉积(UHV/CVD)，常压及减压外延(ATM & RP Epi)等等。

外延片是在WAFER基础上做的EPI工艺.这样出来的WAFER 就是EPI WAFER,也叫外延片。