韩国多家半导体企业开始测试国产半导体材料

韩国三星电子开始在量产半导体的生产线上使用韩国产氟化氢一事9月4日浮出水面。自日本政府7月加强3种半导体材料的出口管理以后，三星一直在反复测试日本以外的替代品。有分析认为将在一部分量产线上试用，确认是否存在问题。

据《日本经济新闻》网站9月5日报道，三星电子相关人士9月4日承认，“作为推进供给来源多元化的一环，正在一部分生产线上推进非日本造（氟化氢）的测试”。

行业相关人士透露，三星自8月下旬起，开始在一条生产线上使用韩国企业供应的氟化氢。氟化氢被用于晶圆的清洗等，三星将首先在对品质影响较小的工序上采用非日本造氟化氢。

据报道，此次投入量产线的是从中国进口、由韩国企业加工的氟化氢。不过，三星没有透露企业名等详细情况。SK海力士也在评估非日本造产品能否用于量产线。

报道介绍，韩国氟化氢的最大进口来源地是中国，但如果仅限于用于生产半导体的超高纯度产品，日本的Stella Chemifa和森田化学工业几乎掌握九成份额。日本企业从中国进口原料，在日本的工厂提高纯度之后向韩国出口。

另据***《经济日报》9月6日报道，三星主管表示：“除了从日本进口外，我们也试用国内供应商制造的氟化氢，开始用于生产流程……我们会持续分散采购来源，以防供应链受政治议题影响。”

报道称，半导体产品是韩国大宗出口商品，占出口比重约20%，为预防日本切断这些原料供应重创电子产业和国内经济，韩国科技企业已加快脚步改用国内自产的关键零件和材料。韩国上周提出预算案，明年研发预算提高17.3%，增幅破纪录，为的正是强化国内零件与材料产业竞争力。

此外，据韩联社报道，全球第二大显示器面板制造商LG显示器公司已开始采用韩国国产的蚀刻气体，SK海力士也正在测试以国内制品取代日本进口货。

据报道，三星电子9月4日在日本东京举行的2019年“三星晶圆代工论坛”上，向在场日本厂商展示三星的极紫外线（EUV）微影光刻技术，这在记忆体除外的半导体领域堪称最尖端技术。三星电子是韩国唯一具有EUV量产系统的公司。