关于中国MEMS的介绍和发展分析

华虹宏力半导体技术研发暨设计服务执行副总裁孔蔚然博士接受《电子工程专辑》的”本土MEMS技术聚焦“专题采访，表达了他对MEMS产业的相关见解和观点。

中国MEMS产业，弱在哪里？

对此问题，孔蔚然博士表示，相对于欧美的MEMS企业，中国的MEMS产业处于起步阶段，短期内无法满足对MEMS市场的旺盛需求。“与标准化的IC制造相比，MEMS制造通常需要一些专用基础设备投入，并且需要设计环节和生产制造环节紧密配合。一方面，很多原来制造中的问题要移到设计中去解决；另一方面，一些设计中的困难需要制造工艺来克服。从MEMS产业发展历程来看，各类MEMS产品的初期研发阶段往往是始于那些欧美日IDM大厂。到目前为止，IDM大厂在大多数MEMS产品的技术和市场上仍处于绝对领先态势。”

同时他还特别指出，当前中国MEMS产业存在专业支撑平台能力不足、技术成果转化周期长等问题。“国内发展CMOS集成MEMS方案务必需要研究其他大厂的现有专利，以防止误触他人的专利范畴。此外，在MEMS市场竞争激烈之下，为了在市场上占据一席之地，降低生产成本已成为刻不容缓的课题。”

市场摇篮能否孕育中国MEMS产业后发优势？

依靠中国这个最大的半导体、电子消费市场，中国MEMS产业是否有机会凭借地域优势赶超先进？答案是肯定的。对此，孔蔚然博士总结了三点优势所在。

第一，最直接的终端消费市场需求。由于智能手机、平板电脑的巨大市场需求，以及增长潜力无限的可穿戴和物联网市场的驱动，MEMS传感器的市场增量将相当可观。根据IHS的资料，MEMS传感器市场于2014年的规模为93亿美元，并预测于2019年增至130亿美元，年复合增长率为7%。

同时，作为世界制造大国，中国是消费电子、汽车的最大生产和消费国，这也决定了中国是芯片消费大国。相比IC产品，中国在MEMS传感器产品的自给率更低。但是，差距同时也是机遇。国内MEMS产业势必需要加快自主研发进度，发扬技术创新，加强上中下游合作，尽早形成产业化，并最终在MEMS市场中占据一席之地甚至持续扩大市场份额。

第二，成熟的CMOS技术工艺和产能。国内200mm CMOS工艺及产线已经具备多年相当成熟的量产经验，CMOS集成MEMS方案是国内MEMS传感器发展壮大的唯一出路。以Fabless+Foundry模式，利用成熟的CMOS集成电路生产线，整合MEMS专用设备及工艺，实现MEMS器件与标准CMOS工艺及产线的全兼容，有利于加快MEMS产业的发展，降低成本，避免重复投资，延长200mm设备及厂房技术寿命。

第三，有力的政策支持。鉴于中国消费类电子、汽车应用、医疗等各领域对MEMS元件的强劲需求，政府正大力推动本土MEMS产业的发展，着力将本土晶圆代工厂、IC设计公司与半导体设备供应商联合起来，形成完整的产业链，并为此提供强大的资金后援和有力的政策支持。2014年6月，国务院更是以“国家集成电路发展纲要”积极布局半导体产业，以市场化运作的基金方式投入，从而也为MEMS产业的发展提供了一个良好的条件。

关于如何壮大中国MEMS产业的思考？

华虹宏力位于MEMS产业的晶圆制造环节，着眼于开发具有自主知识产权的CMOS-MEMS智能传感器产品集成制造技术平台，重点开发面向智能移动终端和物联网的智能传感器芯片制造工艺平台，包括表硅MEMS及体硅MEMS工艺平台。

“华虹宏力投资矽睿科技进行战略合作，发力MEMS传感器市场，已经合作了多款产品。近期双方更是联合推出国内第一款单芯片三轴陀螺仪QMG6982。首次将MEMS陀螺仪器件和专用集成电路（ASIC）器件集成在单一硅片上，从而简化了内部连线，减少了内部封装的绑定金线，提升了封装可靠性，因此较上一代产品体现出更高的性能和良率。

孔蔚然博士指出，“MEMS传感器是华虹宏力一个新的增长机会。我们正在加大与客户的合作，进一步巩固和加强现有MEMS传感器工艺技术及其产品在智能移动终端的市场渗透率，同时也将大力拓展智能穿戴设备、物联网、汽车和医疗等应用领域。同时，为了确保公司的持续竞争力，我们还将继续加强由包含MEMS传感器等研发项目产生重要的创新技术而不断增加专利和专利申请，大力捍卫我们的知识产品组合。“