关于微电子机械系统传感器的介绍和应用

个微电子机械系统（MEMS）传感器！丰富的生产经验和成熟的生产技术让Bosch成为全球领先的MEMS制造商！

MEMS究竟是什么

微电子机械系统传感器（Micro-electro-mechanical systems）简称MEMS传感器，它是芯片形式的电子和机械硬件的组合。每个MEMS传感器都由微型硅结构组成，而这些硅结构通过一种特殊的蚀刻工艺置入硅晶圆中。例如，在显微镜下，加速度传感器的结构看起来像以相对和互锁模式排列的游丝状梳子。其中一些精细的梳状结构仅有4微米——仅相当于蚂蚁腿直径的十分之一。

MEMS传感器可以探测世界，让电子系统像器官一样学会看、听、闻。想象一下：一个尺寸小于2毫米的元器件在数字世界中消失了，消失将产生什么影响? 突然间，智能手机图片变得模糊不清，智能手机屏幕不再自动旋转，发生碰撞时汽车安全气囊无法被触发……博世的MEMS传感器已经成为我们日常生活中如此重要的组成部分。

借助MEMS传感器，无人机可以平稳滑行，即使在风中也精确可控；运动手环和智能腕表中可以计算步数、台阶数和卡路里。MEMS的微调接收器可测量温度、气压、湿度甚至空气质量，有助于更有效地调控空调设备和通风系统。或者，当办公室开会时间拖延时，它们可以触发智能手机提醒大家该去呼吸点新鲜空气了。

它们是真正意义上的互联世界和物联网（IoT）的关键技术。现如今我们已经无法想象离开这些芯片“小英雄”生活将会变成怎样。

BOSCH MEMS

约25年前，博世研发出了MEMS技术所需的制造工艺。这仍是今天生产运行的基础，整个制造过程耗时长达14周，共需上百个步骤。这些微型传感器在严格的无尘环境下制造，因为即使是最小的大气颗粒物也会破坏其生产。一立方英尺的空气约30升，可能最多只能含有一颗重达半微克的颗粒物。形象地说，这相当于3.6亿个浴缸里面的一个樱桃核。

自1995年以来，Bosch MEMS不仅能提供重要的安全舒适的功能，还有助于提高驾驶乐趣和驾驶热情。如今，全球每辆新车中平均有五个博世的MEMS传感器。

凭借2006年第一款用于消费电子产品中的MEMS传感器，博世在MEMS历史上创造了另一个里程碑。如今，全球超过每两部智能手机都使用Bosch MEMS传感器。这让在城市中导航变得更加容易。

MEMS传感器是许多物联网应用中现代技术系统和各个领域的感官机构，例如穿戴式设备、无人机、AR、VR和游戏控制器。通过Bosch MEMS传感器，清洁机器人可帮助您每年节省40多个小时来获取更多的乐趣！

作为机器和工件的人工感觉器官，MEMS传感器在工业4.0中扮演着关键角色，它们可捕获有关条件和性能的信息。在博世的带领下，七家合作伙伴正在合作开发连接生产的未来传感器系统。

Bosch MEMS传感器在持续不断生产：每天，博世都会生产超过400万个MEMS传感器。

Bosch MEMS采用全面复杂的生产过程，最长可达3.5个月！

Bosch MEMS传感器连接非常紧密。

全球每两部智能手机都在使用Bosch MEMS传感器－这些小英雄广泛用于平板电脑，穿戴式设备，无人机，AR，VR，机器人技术和游戏设备。

自2013年以来，MEMS传感器丰富的经验和出色的专业技术使博世成为全球领先的MEMS传感器制造商。

Bosch MEMS传感器非常节能，可延长设备的电池寿命。

引人入胜的Bosch MEMS技术：一些MEMS传感器元件的尺寸仅为0.004 mm，对于人眼来说几乎是不可见的！

Bosch MEMS传感器是车内的忠实伴侣，它有助于提高车辆的安全性，舒适性以及驾驶乐趣。