村田开发面向工业设备的数字三轴MEMS加速度传感器SCA3400系列

株式会社村田制作所 (TOKYO:6981)（以下简称“村田”）开发出了面向工业设备的数字三轴MEMS(1)加速度传感器“SCA3400系列”（以下简称“本产品”）。本产品在长期使用下的传感器输出变化值（偏移寿命漂移(2)）低于0.5mg（毫伽），属于业内居先水平(3)。本产品具备高度耐久性，有助于提升桥梁、建筑等结构物劣化监测设备的可靠性。预计将于2025年10月开始量产。

(1) MEMS（微型电子机械系统）：通过对硅片等材料的精细加工，制造出传感器结构和电子电路的技术。
(2) 偏移寿命漂移：指传感器在使用期间输出数值发生偏移的现象。该数值越高，偏移越大。
(3) 数据来源：村田，截至2025年6月23日。

随着工业设备的数字化，自动检测结构物和机械设备等异常或损伤、实现预测性维护的需求不断增长。通过传感器进行变化检测是实现自动化的重要方式之一。尤其在对桥梁、建筑等进行结构健康监测时，需要进行长期监控，因此，能够准确捕捉结构物微小形变或变化的加速度传感器性能，会直接影响整个监测系统的可靠性。然而，传统能够检测细微倾斜的高精度加速度传感器，其偏移寿命漂移值较高，使用时间一长，基准位置偏移就会增大，导致难以准确监测结构物的劣化。

对此，村田通过自主研发的MEMS工艺与新型电路设计，开发出了既可检测微小倾斜、又将偏移寿命漂移值控制在0.5mg以下的本产品。借此，有助于提升结构健康监测等系统的长期高精度测量能力。本产品还具备出众的抗振动和抗温度变化能力，即使在恶劣环境下的工业设备中，也可实现长期稳定使用。

今后，村田将继续致力于高精度加速度传感器的研发，满足多样化的市场需求。

主要特点

偏移寿命漂移值业内居先，低于0.5mg。

低噪声，能够准确检测微小动作。

具备良好的抗振动和抗温度变化能力，可在恶劣环境下稳定运行。

配备可实时监控传感器状态的自诊断功能。

与村田以往产品采用相同尺寸和输出方式，便于客户减少额外设计工时。

主要参数

尺寸（长×宽×高）	8.6 x 7.6 x 3.3 mm
工作温度范围	-40℃ ~ +85°C
加速度测量范围	±1.2g, ±2.4g （可选）
灵敏度	15,000 LSB/g
噪声密度	20 µg/√Hz
偏移寿命漂移（典型值）	≤ 0.5mg (X,Y), ≤ 2mg (Z)
灵敏度寿命漂移（典型值）	±0.02 % (X,Y), ±0.2% (Z)

审核编辑 黄宇