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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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“金手指”采用静电动作方式,在悬臂梁下方施加高压直流电压,以控制开关导通。当导通时,静电吸引力将悬臂拉下来,全部5个触点都降下来,每个触点的导通电阻均为...
弗劳恩霍夫硅技术研究院半导体技术专家Bernhard Wagner对于MEMS扬声器的生产制造看到了重要的发展机遇:“未来我们将采用能效更高且与IC工艺...
MEMS陀螺仪对微机械加工工艺具有高度的敏感性,加工工艺偏差、加工应力以及可靠性等对MEMS陀螺仪的成品率至关重要。整个微机械加工工艺流程是实现MEMS...
据了解,二人目前主要从事安全前沿研究,长期关注物联网设备和AI等领域安全问题研究,因此,对本次超声波干扰物联网设备这一漏洞的发现也绝非偶然。7月28日,...
第一个挑战是智能手机MEMS市场萧条,而竞争依然非常激烈。时至今日,MEMS最大的市场仍然是智能手机市场。但现在,该市场的增长已经进入停滞阶段。然而,由...
过去,人们对结构健康性能的监测主要是采用传统的人工监测方法以及有线传感器来实现。人工方法的缺陷在于主要依靠人的经验,而不同的人进行监测的差异较大,除漏检...
据研究论文的主要作者、伊利诺伊大学厄巴纳—香槟分校材料科学家刘宇浩表示,与听诊器这种常见传感器相比,最新研发的新器件所使用的低功率商用MEMS加速度传感...
利用MEMS微机电系统检测、捕捉、分析运动,已成为消费电子和移动设备司空见惯的功能。同样的,MEMS传感器技术也可以使许多潜在的医疗诊断和仪器应用受益。...
眼动追踪,是指通过测量眼睛的注视点的位置或者眼球相对头部的运动而实现对眼球运动的追踪。目前,LG和三星曾推出过具有眼动追踪技术的手机。如三星某款Gala...
重力仪通常被用来测定重力加速度的微小变化,广泛用于石油勘探和环境测量等工作中。然而大部分的重力仪相对大型且昂贵。上周,英国格拉斯哥大学的研究人员则通过融...
20世纪90年代,随着微机电系统MEMS技术研究的成熟,几克重的MEMS惯性导航系统被制作了出来,使得多旋翼无人机飞行器的自动控制器可以做了。但是,由于...
环境监测将成为MEMS传感器的发展新方向,资料图 在智慧型手机以及穿戴式装置应用中,陀螺仪、加速度传感器和磁力计等动作传感器已发展成熟。制造商们开...
在传统的汽车电子和消费电子迎来MEMS传感器需求的稳步增长外,随着人口老龄化,各种远距离监护和高精度治疗设备将越来越多地被引入,未来增长最快的应用市场将...
TPMS系统主要由两个部分组成:安装在汽车轮胎上的远程轮胎压力监测模块和安装在汽车驾驶台上的中央监视器(LCD/LED显示器)。直接安装在每个轮胎里测量...
有很多上班族,长时间坐在办公室很难实行身体力行的日行万步计划。这当中的计步器扮演了相当重要的角色,也就是MEMS的加速度传感器所执行的计步的工作。如果没...
传感器发展的另一大特点是向着集成化、智能化方向发展。集成传感器的优势是传统传感器无法达到的,它不仅仅是一个简单的传感器,其将辅助电路中的元件与传感元件同...
射频微机电(RF MEMS)今年将大举进驻高阶LTE手机。多频多模4G手机现阶段最多须支援十五个以上频段,引发内部RF天线尺寸与功耗过大问题;为此,一线...
随着硅微机械加工技术(MEMS)的迅猛发展,各种基于MEMS技术的器件也应运而生,目前已经得到广泛应用的就有压力传感器、加速度传感器、光开关等等,它们有...
该压力传感器最终实现了喷墨喷嘴,并促使数字光处理(DLP) MEMS的出现,很快地也有了第一家厂商使用来自ADI的加速度计触发安全气囊,这比传统的管内球...
在国际半导体产业协会(SEMI)看来,微机电系统(MEMS)技术在近几年来的半导体领域中成长最快速,那么如何准确预测MEMS的未来?在了解MEMS元件的...
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