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mgo 薄膜的制备方法及工艺条件对薄膜特性的影响不同的制膜方法具有不同的特点，制备方法的不同必将影响薄膜的性质，譬如结晶取向、表面粗糙度、致密性等。不同的应用对薄膜质量的要求也不尽相同，这就需要选用不同的制备方法，即了解不同的制备方法，为薄膜的制备提供更多的选择。
电子束蒸发的原理是灯丝在高温状态下发射出电子，在电场的作用下，这些电子向阳极运动并被电场加速。这样高速运动的电子流在一定的电磁场作用下被汇聚成细束并轰击到被镀材料的表面，使其蒸发沉积在待镀衬底上。电子束加热可以蒸发高熔点材料。工作时聚焦电子束能量高度集中，使蒸发材料的局部表面可达到 ， ---。/ --- 0高温，因而使高熔点的材料蒸发。通过调节电子束的加速电压和束流，就能准确而方便地调节与控制蒸发的温度。由于蒸气分子动能很大，所以能够得到比较牢固致密的薄膜。另外，电子束蒸发方法具有很高的沉积速率，是制备 1（2 薄膜最常用的方法之一。
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