随着半导体器件特征尺寸不断微缩，对高质量薄膜材料的需求愈发迫切。外延技术作为一种在半导体工艺制造中常用的单晶薄膜生长方法，能够在单晶衬底上按衬底晶向生长新的单晶薄膜，为提升器件性能发挥了关键作用。本文将对外延技术的定义、分类、原理、常用技术及其应用进行探讨。
2025-06-16 11:44:03
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中国工程院院士涂铭旌率领的重庆文理学院新材料技术研究团队近日研制出银纳米线触摸屏手机样机，这一新材料技术比传统材料具有成本低、导电好等优势。
2015-11-23 08:59:391542 中国航发航材院石墨烯及应用研究中心突破了高品质石墨烯的批量生产及在多个领域的应用技术。在石墨烯储能材料方面，中国航发航材院一直致力于石墨烯锂离子电池以及超级电容器、锂硫电池及燃料电池等新一代高性能储能器件的研发，并取得了一系列重要突破。
2016-12-13 18:35:032506 我国是世界上最早开展纳米科技研究的国家之一，国家高度重视纳米科学技术的发展。
2011-10-31 09:07:261209 日在韩国首尔COEX国际展览中心举办。该展是由韩国知识经济部（MKE）和韩国教育、科学技术部(MEST)主办，由韩国纳米组织委员会、韩国纳米技术研究协会(NTRA)、韩国纳米技术研究院(KONTRS
2013-02-24 13:52:34
2017中国(上海)石墨烯新品发布会 2017上海国际纳米技术与应用研讨会暨展览会主办单位：中国微米纳米技术学会中国材料研究学会上海市纳米技术协会 北京纳米科技产业创新联盟上海硅酸盐工业协会 承办单位：上海
2017-03-08 09:24:18
展示会2018中国(上海)石墨烯新品发布会2018上海国际纳米技术展览会第十届上海国际新材料展览会 主办单位：中国微米纳米技术学会中国材料研究学会上海市纳米技术协会北京纳米科技产业创新联盟上海硅酸盐
2017-09-01 13:48:03
《“十三五”国家战略性新兴产业发展规划》，满足新能源汽车等产业发展的需求，充分交流我国电池行业这些年来在高性能电池研发中出现的新技术、新产品、新材料和新成果，中国电池工业协会定于2019年3月20日
2019-02-15 21:12:45
衬底上GaN基外延材料生长及杂质缺陷研究的成果，首次提供了在C掺杂半绝缘氮化镓中取代C原子占据N位点的明确证据。中科院半导体所张翔带来了关于石墨烯提升氮化铝核化以及高质量氮化铝薄膜外延层的报告，分享了该
2018-11-05 09:51:35
以作为导体。这从本质上为科学家们提供了一个相对简单的为石墨烯制造人工能隙的方法。（所谓能隙，在这里可以简单理解为石墨烯纳米带间的间隙） 早在去年夏天，就有研究组织宣称，由底层向上制造出石墨烯纳米带
2016-01-15 10:46:25
。例如石墨烯在太阳能(000591)电池领域的应用，以南开大学化学学院教授陈永胜为代表正在逐步推进研发，但没有进入技术转化阶段。这是因为相比民用产品，所需资金投入更大，民营企业参与程度较低，即便
2017-02-27 09:12:39
在电池领域，尤其是锂电池方向用，有人说做“石墨烯电池”，基本就属于扯蛋！（在这里，不包括超级电容器和锂硫等新一点的电池，它们可能要乐观一些）。先不考虑石墨烯原料的价格，将石墨烯从原料加工到成品这个
2016-12-30 19:24:39
。这项技术使得汽车后视镜能够迅速消除镜面上的霜和雾水，并保持清晰明亮，即使在天气非常恶劣的条件下。
Haydale石墨烯加热油墨，颜色为黑色，适用于低温固化，具有良好的印刷及耐温、耐热性，粘度&
2024-11-15 15:55:16
能在一分钟内达到几十上100℃，其电热转化率接近100%。除了石墨烯发热膜的应用外，发热画的画面釆用特殊工艺和材质制成，除有装饰的艺术美感外，在发热时还释放出有益于人体健康的远红外光波，热能辐射率达
2018-12-22 17:26:33
探索未来能量储存新篇章：高性能4.2V 5500F 2.6Ah石墨烯电容推荐
随着科技的飞速发展，我们对于能量储存的需求也日益增长。在众多的储能元件中，石墨烯电容以其独特的优势，正逐渐崭露头角
2024-02-21 20:28:36
相比与一些大家都已经很熟悉的电池来说，大家可能觉得石墨烯电池很陌生。不过在12月18日，《科学》杂志发表了中科院上海硅酸盐研究所的一项重要成果。该所研制出一种新型石墨烯材料，这种高性能超级电容器
2015-12-30 14:39:20
石墨中分离出石墨烯，而证实它可以单独存在，两人也因在二维石墨烯材料的开创性实验而共同获得2010年诺贝尔物理学奖。石墨烯的出现在科学界激起了巨大的波澜，从2006年开始，研究论文急剧增加，作为形成纳米
2019-07-29 06:24:44
来袭华为已经在锂离子电池领域实现重大研究突破，将会推出业界首个高温长寿命石墨烯基锂离子电池。主要特色是借助新型耐高温技术，可以将锂离子电池上限使用温度提高10℃，而使用寿命则是普通锂离子电池的2倍
2017-01-16 09:39:11
提到纳米技术，人们可能会觉得离自己好远。其实纳米材料在几个世纪前，就已经在陶瓷釉和有色窗玻璃染色剂中使用。1990年代末以来，纳米技术越来越多的投入到应用中。现在，全球各地的科学家和工程师都在对这个
2021-08-31 08:13:56
据《自然光子学》杂志最新发表的一项研究称，纳米线可吸收比普通太阳光强度高14倍的太阳光。科学家预测，未来纳米线不仅在太阳能电池领域，而且在量子计算机和其他电子产品中也有巨大的发展潜力。丹麦哥本哈根
2013-03-29 17:20:22
/index.html摘要：氮化镓 (GaN) 纳米线 (NW) 的器件近年来引起了很多兴趣。超薄 GaN NW 可用于制造许多用于未来通信和加密系统的新型器件，例如单光子发射器 (SPE)。传统的生长技术在可制造性
2021-07-08 13:11:24
Sinitskii表示，“我们以前也研究过其它碳基材料传感器，如石墨烯和氧化石墨烯。使用石墨烯纳米带，我们确定可以看到传感器的响应，但是我们没有预想到会比过去所看到的更高。”
2020-05-18 06:44:27
在观察佩戴假肢的人如何与之交互。科学的发展，会促使这一技术更加成熟。” 该学院的研究人员在近两年的时间里，一直在尝试通过3D打印技术将石墨烯制作成化学改性涂层，探究其在高灵敏度人造皮肤上的可行性
2016-01-28 10:23:12
碳原子呈六角形网状键合的材料“石墨烯”具有很多出色的电特性、热特性以及机械特性。具体来说，具有在室温下也高达20万cm2/Vs以上的载流子迁移率，以及远远超过铜的对大电流密度的耐性。为此，石墨烯有望
2019-07-29 06:27:01
`随着三部委《关于加快石墨烯产业创新发展的若干意见》持续推进、《战略性新兴产业十三五发展规划》的出台和石墨烯产业化进程的不断推进，预计2017年我国石墨烯产业发展的热度仍将不减。一是低成本制备技术
2017-01-18 09:09:18
可供集成的相关现有技术素材的理论性能（价值）的30%以下，都还很有进步空间，煎熬着进步吧。二、 石墨烯：石墨烯这样的东东全世界都比较热，尤其在中国，热炒，都要炒糊啦。石墨烯在各方面的性能潜力确实很诱人
2016-03-14 10:00:19
月19日消息，从青岛市科技局获悉，近日青岛市储能产业技术研究院成功研发出高能量密度锂离子电容器，专家鉴定总体达到国际先进水平。该技术突破了石墨烯复合电极设计与批量制备、可控均匀预嵌锂、充放电胀气
2016-01-20 14:52:37
一、引言2010年，诺贝尔物理学被两位英国物理学家安德烈·海姆和康斯坦丁·诺沃肖诺夫夺得，他们因制备出了石墨烯而获此殊遇。而石墨烯的成功制备，引起了学界的巨大轰动，也引发了一场石墨烯制备、理论研究、应用开发的浪潮。石墨烯
2019-07-29 07:48:49
基于硅纳米线的生物气味传感器是什么？硅纳米线表面连接修饰OBP蛋白分子的方法有哪些？基于硅纳米线的气味识别生物传感器的结构是如何构成的？
2021-07-11 07:43:02
什么是硅基CMOS技术？如何去实现一种石墨烯CMOS技术？
2021-06-17 07:05:17
SOI（Silicon-On-Insulator，绝缘衬底上的硅）技术是在顶层硅和背衬底之间引入了一层埋氧化层。通过在绝缘体上形成半导体薄膜，SOI材料具有了体硅所无法比拟的优点：可以实现集成电路
2012-01-12 10:47:00
建议论坛中增加关于艺术文化与科学技术之间的关系的版块，并希望从业前前辈推荐一些
2015-09-04 13:57:08
续航能力强的电池又迈进了一步。美国加利福尼亚大学洛杉矶分校段镶锋教授解释，新研制出来的复合电极技术，是以多孔石墨烯为三维框架结构、表面均匀生长纳米颗粒五氧化二铌的方式制成的，它能同时实现充电快和使用时间
2017-07-12 15:54:13
待技术的进一步完善。艾迈斯作为锂电池接插件的生产企业，也在时刻关注石墨烯电池发展，并将积极开发石墨烯电池适用的接头。`
2017-02-15 08:20:03
英国剑桥大学29日发布的一项研究成果显示，研究人员成功将石墨烯电极植入小鼠脑部，并直接与神经元连接，这项技术未来可用于修复截肢、瘫痪甚至帕金森氏 症患者的感知功能，协助他们更好地康复。石墨烯是从
2016-02-01 15:39:08
随着国家对节能减排的日益重视，成都LED灯市场的逐步启动，飞利浦、富士康等大公司涉足LED灯行业，LED概念股普涨，使得LED技术成为大众热点，下面简要概述LED衬底技术。上图为LED封装结构示意图
2012-03-15 10:20:43
将首次亮相，另外聚碳还将对外公布其在石墨烯电池领域的三项前瞻性技术。据了解，此次发布会将会有三大亮点。第一个就是可能作为行业标杆的石墨烯基锂离子移动电源。它利用了石墨烯超高的导电和电阻率最小的特性
2017-09-02 11:42:51
计算机科学技术具有一系列特点,诸如技术密集、知(2010-05-28 09:45:40)标签：教育计算机科学技术具有一系列特点,诸如技术密集、知 识密集、应用面广、更新速度快等。因此计算机教育
2021-09-13 08:17:17
的科学家创建出一种全新的石墨烯纳米带环氧涂层，在被施加电压后，能通过产生的电热实现覆冰的融化。 在James Tour教授的带领下，研究人员将环氧树脂涂层与石墨烯纳米带相结合。石墨烯纳米带是由单层碳原子
2016-01-29 11:16:41
（脑控技术丛书）太赫兹科学技术和应用
2020-03-03 13:21:23
（脑控技术丛书）太赫兹科学技术和应用
2020-03-06 08:02:08
中国科学技术大学合肥微尺度物质科学国家实验室的研究人员利用原子力针尖诱导的局域催化还原反应，实现了在单层氧化石墨烯上直接绘制纳米晶体管器件。相关研究成果日前在线发
2012-11-23 09:29:301638 石墨烯，是当前世界上最薄、最轻、最硬、导电性最好而且拥有强大灵活性的纳米材料。
2016-11-28 10:23:20540 正中国科学家在《自然·纳米技术》杂志上发表论文称，他们在单晶石墨烯制备上取得了一项突破。
2016-12-09 09:41:072760 近日，科学家对石墨烯材料又挖掘除了新的用途，开发了一种智能石墨烯涂层用以感知房屋结构断裂情况。自石墨烯发现以来，科学家就加速挖掘其用途，从太阳能电池到建筑材料，从催化器到抗癌药物，都能找到石墨烯的身影。
2017-04-26 08:45:181321 石墨烯高性能光学器件可用于成像、显示、传感器和高速通信。题为“由碳化硅衬底与微米量级石墨烯结合制成的光电晶体管的位置依赖和毫米范围光电探测”的论文发表在《自然纳米技术》杂志。该项目受到美国国家科学基金会和美国国土安全部的联合资助。
2017-05-08 17:59:306593 石墨烯一经发现，其理论力、热、电等性能已经可轻松超越许多常规材料数倍，同时被学者也认为石墨烯是碳纳米管、富勒烯等碳材料的基本组成单元，但石墨烯的很多实际应用还需要利用石墨烯组装成宏观石墨烯组装体，包括一维石墨烯纤维、二维石墨烯薄膜。
2017-05-10 13:58:313620 
1.石墨烯的结构和性质 物理结构：石墨烯，是由碳原子组成的单原子层平面薄膜，厚度仅为0.34纳米，单层厚度相当于头发丝直径的十五万分之一。是目前世界上已知的最轻薄、最坚硬的纳米材料，透光性好，能折叠
2017-09-19 08:57:58
15 。纳米技术可制备具有纳米尺度的材料，减少Li+扩散距离，显著提升材料的倍率性能，但是纳米材料也会带来振实密度下降、高比表面积的问题，导致电极材料的副反应增加，限制了纳米技术在锂离子电池上的应用。 近日来自美国西北
2017-09-22 15:56:114 石墨烯材料诞生于2004年，由英国曼彻斯特大学两位科学家安德烈·杰姆和克斯特亚·诺沃肖洛夫首次在实验室发现。简单来说，石墨烯就是把石墨中的堆叠的碳原子分离成单层或者双层，例如，铅笔在纸上留下的痕迹就可能是几层甚至是单层石墨烯。
2017-10-20 17:12:3311791 离子的能量决定了石墨烯薄片表面上纳米微孔的孔径大小，可通过调节离子的轰击能量设定所形成纳米微孔孔径的大小，使其在1-4纳米之间变化。此项成果的研究成功向石墨烯材料特定结构定向获得迈出了重要的一步。
2017-10-26 15:12:421858 团队将工业多晶铜箔转化成了单晶铜箔，得到了世界上目前最大尺寸的单晶Cu（111）箔，利用外延生长技术和超快生长技术成功在20分钟内制备出世界最大尺寸（5×50 cm2）的外延单晶石墨烯材料。
2017-11-23 15:22:334294 新世代高能量纳米电池，亦可组成透明电极网络，实现手机电池、屏幕元件透明化设计，有助加快新世代透明手机问市。 斯坦福大学材料科学与工程系终身教授Yi Cui表示，纳米线和纳米碳管（Carbon Nanotube）技术将开创锂电池设计新纪元，在硅架构中导入纳米线、纳米碳管
2017-12-07 12:20:01965 成员(麻芃、郭建楠、潘洪亮)在金智研究员和刘新宇研究员的带领下，分别在采用微机械剥离方法、SiC外延生长法和化学气相淀积(CVD)法生长出的新型石墨烯材料上，成功研制出高性能的石墨烯电子器件。
2017-12-09 11:17:121006 
获得中国石油集团石油管工程技术研究院认证的石墨烯纳米技术拥有，零VOC排放，高达80%干膜氟化石墨烯及氧化锌含量等特点，这种黑科技为何如此厉害？
2018-05-28 09:46:034377 
据麦姆斯咨询报道，韩国科学技术院的研究人员通过开发一种柔性、透明的超薄分层纳米复合材料（HNC）薄膜，研究出了一种高性能的透明纳米触摸传感器。
2018-10-22 15:32:223884 同时研究团队也详细研究了石墨烯上氮化物生长机理，发现石墨烯可以改变成核密度，大幅度提高 AlN 成核岛的生长速度，从而降低融合边界的位错密度。 DFT 计算和实验结果也验证了石墨烯可以显著 改善外延
2018-11-21 16:37:186012 深紫外LED可以广泛应用于杀毒、消菌、印刷和通信等领域。最近，中国科学院半导体研究所照明研发中心与北京大学纳米化学研究中心、北京石墨烯研究院刘忠范团队合作，开发出了石墨烯／蓝宝石新型外延衬底，并提出了等离子体预处理改性石墨烯，促进AlN薄膜生长实现深紫外LED的新策略。
2019-04-25 09:35:531754 中国科学院半导体研究所照明研发中心与北京大学纳米化学研究中心、北京石墨烯研究院刘忠范团队合作，开发出了石墨烯/蓝宝石新型外延衬底，并提出了等离子体预处理改性石墨烯，促进AlN薄膜生长实现深紫外LED的新策略。
2019-04-26 11:06:263682 
中国院士分为中国科学院院士和中国工程院院士。中国科学院院士最初设立于 1955 年，是中国在科学技术方面的设立的最高学术称号，而中国工程院院士则是中国工程科学技术方面的最高学术称号，本次最终确定有
2019-05-05 15:05:3012003 石墨烯（Graphene）是一种由碳原子以sp杂化轨道组成六角型呈蜂巢晶格的二维碳纳米材料。基于石墨烯材料的灵感，EOS创始人Daniel Larimer带领Cryptonomex 公司团队一起研发了石墨烯区块链底层技术架构，并使该架构成为了区块链领域优秀的核心底层架构。
2019-05-31 11:20:185694 11月22日，2019年新当选科学院院士名单正式公布。硅衬底LED技术发明人、晶能光电创始人、南昌大学副校长江风益教授赫列其中，这是国家对其科学成就的最高荣誉，也是继硅衬底LED技术获得2015年国家技术发明奖一等奖以来，我国LED照明领域的又一件大喜事。
2019-11-23 10:57:433419 科学家们研究了一个真正的单层，即大面积石墨烯薄膜覆盖在大面积铜箔上。改进了化学气相沉积(CVD)生长方法，消除了石墨烯生长在铜箔上的所有碳杂质。
2020-04-02 17:47:103617 上海微系统所研究人员利用分子束外延技术，成功制备出大面积、高密度且高长宽比的Ge纳米线，并利用其作为模板，通过二次沉积法获得了Sn组分可达~10%的GeSn/Ge双层纳米线结构。
2020-06-01 14:23:563055 
在半导体科学技术的发展中，气相外延发挥了重要作用，该技术已广泛用于Si半导体器件和集成电路的工业化生产。
2020-08-28 14:24:316737 
今日上午，小米集团副总裁、手机部总裁曾学忠解读了石墨烯在电池技术上的应用突破。 据了解到，小米 10 至尊纪念版内置 4500mAh 电池，支持 120W 有线充电。据介绍，大功率充电下，小米 10
2020-10-22 10:16:032897 2020年，我国石墨烯研究热度依旧不减，各高校、研究机构、科研院所等石墨烯科技创新成果不断涌现。其中中国科学院大学联合大连理工大学，在高质量、大面积、单层石墨烯的可控合成及其生长激励研究方面取得重要进展
2021-02-19 09:26:527182 图形化蓝宝石衬底已经在可见光LED领域得到广泛的应用，其优势在于它不仅能有效改善外延生长质量，还可以提高LED的光提取效率。基于先进的半导体仿真设计平台，我司技术人员开发出了纳米图形衬底（NPSS
2021-02-23 11:01:281116 
摘要 相比单层石墨烯，特定构型的石墨烯纳米结构具有更加新奇的物理性质，被认为是构筑基于石墨烯功能纳米器件的基本单元。由于纳米结构的性质对其局域原子构型非常敏感，可控制备高质量的、原子级精确的石墨烯
2021-06-17 16:22:594502 
沟道层，在GOI或绝缘体上硅锗(SGOI)衬底上外延生长锗是一种很有前途的技术。GOI和SGOI衬底的表面清洁是获得所需沟道层的最重要问题之一。
2021-12-10 17:25:061339 基于此，在本文中，研究了一种基于硅纳米线阵列/石墨烯异质结的高灵敏度近红外光探测器，并对其电性能与光学特性进行了研究。
2022-11-24 11:20:562613 为制备出具有离子输运调节功能的石墨烯纳米孔，科研人员利用重离子辐照的方法在石墨烯上制备出单个纳米孔，并通过与PET锥形支撑孔相结合、在石墨烯纳米孔周围构建栅极实现对石墨烯纳米孔周围电势及离子输运行为的调控（图1）。
2022-12-02 10:19:451074 SiC纳米线是一种径向上尺寸低于100nm，长度方向上远高于径向尺寸的单晶纤维。SiC纳米线生产技术一直都是全球研究的中
心及难点。SiC纳米线在全球产量不高，一般为实验室水平生产（每次产量约几十微克）。
2023-02-21 09:24:050 迄今为止， 石墨烯的制备方法主要有机械剥离法、液相剥离法、碳化硅外延法、化学气相沉积法 （Chemical vapor deposition，CVD）等。其中， CVD法制备的石墨烯薄膜，尤其是在铜等金属衬底上生长的石墨烯薄膜，具有质量高和可控性好的优点，越发受到科学界和产业界的关注。
2023-02-22 11:28:293586 外延层是在晶圆的基础上，经过外延工艺生长出特定单晶薄膜，衬底晶圆和外延薄膜合称外延片。其中在导电型碳化硅衬底上生长碳化硅外延层制得碳化硅同质外延片，可进一步制成肖特基二极管、MOSFET、 IGBT 等功率器件，其中应用最多的是4H-SiC 型衬底。
2023-05-31 09:27:098486 
衬底上实现高质量的外延生长GaN基材料。GaN材料的生长是在高温下，通过TMGa分解出的Ga与NH3的化学反应实现的，生长GaN需要一定的生长温度，且需要一定的NH3分压。
2023-06-10 09:43:442359 HVPE（氢化物气相外延法）与上述两种方法的区别还是在于镓源，此方法通常以镓的氯化物GaCl3为镓源，NH3为氮源，在衬底上以1000 ℃左右的温度生长出GaN晶体。
2023-06-11 11:11:321206 的原理、应用、优点和未来发展趋势。 1. 石墨烯电池技术的原理 石墨烯电池技术是利用石墨烯材料的优良特性，包括高电导性、高表面积、高可充放电速率等，来实现高能量密度和高功率密度的电池技术。其原理是在石墨烯电极上形成
2023-08-22 17:06:077604 “石墨烯”又名“单层石墨片”，是指一层密集的、包裹在蜂巢晶体点阵上的碳原子，碳原子排列成二维结构，与石墨的单原子层类似。Geim 等利用纳米尺寸的金制“鹰架”，制造出悬挂于其上的单层石墨烯薄膜，发现
2023-08-28 14:58:073920 
CVD因具有可控、高质量生长石墨烯的优点而引起国内外关注，据报道石墨烯薄膜可在多个衬底上生长，如Fe、Cu和Ni、 Pt等。研究表明，采用CVD工艺生长单层石墨烯，可实现晶粒可调、降低石墨烯固有强度、降低碳原料分解的能量屏障，一定条件下，CVD工艺能带来可扩展、经济、可重复且易于使用的优点。
2023-09-01 11:12:531884 
12月11日，外媒消息，韩国首尔国立大学与成均馆大学的研究团队联合开发了一种在石墨烯层上生长柔性GaN LED阵列的方法，通过该技术研究团队生长出了LED微型阵列
2023-12-13 16:06:031313 
外媒消息，韩国首尔国立大学与成均馆大学的研究团队联合开发了一种在石墨烯层上生长柔性GaN LED阵列的方法，通过该技术研究团队生长出了LED微型阵列，并称作微盘阵列（Microdisks arrays）。
2023-12-18 10:07:151686 特异的二维材料石墨烯，由于其狄拉克锥能带结构呈现为零带隙特性，至今仍是诸多科学家们面对的挑战。然而，马雷教授领军的科研团队，在对外延石墨烯生长过程进行精密调整后，成功构筑了新型稳定半导体石墨烯。
2024-01-08 10:40:311525 石墨烯电子学发展的关键技术难关攻克
2024-01-09 09:45:491239 
Si上 AIN 和 GaN 的溅射外延(111) 溅射外延是一种低成本工艺，适用于沉积III族氮化物半导体，并允许在比金属-有机气相外延（MOVPE）更低的生长温度下在大衬底区域上沉积。介绍了用反应
2024-01-12 17:27:131093 
近日，广东致能科技团队与西安电子科技大学广州研究院/广州第三代半导体创新中心郝跃院士、张进成教授团队等等合作攻关，通过采用广东致能科技有限公司的薄缓冲层AlGaN / GaN外延片，基于广州第三代半导体创新中心中试平台，成功在6英寸蓝宝石衬底上实现了1700V GaN HEMTs器件。
2024-01-25 10:17:242253 
当德赫尔和他的团队弄清楚如何使用特殊熔炉在碳化硅晶圆上生长石墨烯时，他取得了突破。他们生产了外延石墨烯，这是在碳化硅晶面上生长的单层。
2024-02-21 15:26:501045 异质外延是一种先进的晶体生长技术，它指的是在一个特定的衬底材料上生长出与衬底材料具有不同晶体结构或化学组成的薄膜或外延层的过程，即：在一种材料的基片上生长出另一种材料。
2024-04-17 09:39:421714 
、导电性、导热性以及机械强度。单层石墨烯的厚度仅为0.335纳米，是头发直径的二十万分之一，且几乎完全透明，只吸收约2.3%的光。这些特性使得石墨烯在多个领域具有广泛
2024-09-30 08:02:161697 
SiC外延生长技术是SiC功率器件制备的核心技术之一，外延质量直接影响SiC器件的性能。目前应用较多的SiC外延生长方法是化学气相沉积（CVD），本文简要介绍其生产过程及注意事项。
2024-11-14 14:46:302351 
本文介绍SiGe外延工艺及其在外延生长、应变硅应用以及GAA结构中的作用。 在现代半导体技术中，随着器件尺寸的不断缩小，传统的硅基材料逐渐难以满足高性能和低功耗的需求。SiGe（硅锗）作为一种
2024-12-20 14:17:496653 
衬底的关键组件，其结构和性能对外延片的质量具有决定性影响。本文将详细介绍一种用于半导体外延片生长的CVD石墨托盘结构，探讨其设计特点、工作原理及在半导体制造中的应
2025-01-08 15:49:10364 
引言
在半导体材料领域，碳化硅（SiC）因其出色的物理和化学特性，如高硬度、高热导率、高击穿电场强度等，成为制造高功率、高频电子器件的理想材料。然而，在大尺寸SiC外延生长过程中，衬底应力问题一直是
2025-02-08 09:45:00268 ，石墨烯在非金属基板上的生长面临着一系列的挑战，特别是高密度的成核和低质量的薄膜问题。 鉴于此，北京大学刘忠范院士团队提出了一种创新的“预熔基板促进选择性刻蚀”（PSE）策略，成功解决了这些问题，使得石墨烯在玻璃
2025-02-08 10:50:14772 本文从多个角度分析了在晶圆衬底上生长外延层的必要性。
2025-04-17 10:06:39870
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