Flexfilm文章

• 椭偏仪表征薄膜非晶相 | 精准分析不同衬底温度下氢化非晶氧化硅(i-a-SiOₓ:H)薄膜的光学性质与结构2025-10-20 18:04

  

  本征氢化非晶氧化硅（i-a-SiOₓ:H）是a-Si:H/c-Si异质结太阳电池的重要钝化材料，兼具PECVD低温沉积、带隙宽等优势，但i-a-SiOₓ:H钝化性能与制备工艺、仪器密切相关；目前室温（25℃）下在n型直拉单晶硅（n-Cz-Si）表面沉积i-a-SiOₓ:H时，硅片少子寿命极低，钝化效果差，且衬底温度对其钝化性能的影响尚不明确；Flexfilm

  光学 太阳能电池 541浏览量

• 台阶仪在表面计量学的应用：基于表面纹理最大高度S±3σ的表征研究2025-10-17 18:03

  

  表面形貌的平均高度与最大幅度直接影响零部件的使用功能。工业中常通过二维轮廓测量获取相关参数，但轮廓最大高度存在较大波动性。Flexfilm探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的表面台阶高度与膜厚，为材料质量把控和生产效率提升提供数据支撑。本研究提出基于三维面扫描测量结果，通过将表面最大高度修正至材料比率0.13%-99

  仪器 测量 轮廓测量 329浏览量

• 椭偏仪在精密薄膜中的应用：基于单驱动变角结构的高重复性精度控制系统2025-10-15 18:04

  

  椭偏测试技术具有非接触、高灵敏、无样品破坏优势，广义椭偏仪因可测各向同性与异性样品成研究热点，但需变角结构实现多角度测量。当前立式椭偏仪存在双电机配合难或装配精度高问题，卧式椭偏仪光路不易对准，且缺乏低成本、高集成度且精确变角控制的方案。Flexfilm全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精度表征，广泛应用于薄膜材料、半导体和表面科学等领域。本文提

  控制系统 薄膜 247浏览量

• 台阶仪在多镀层膜厚中的应用：基于单基体多膜标准实现0.5%高精度测量2025-10-13 18:04

  

  表面涂覆技术是现代制造业的关键工艺，镀层厚度是其核心质量指标。目前，单镀层厚度测量技术已较为成熟，但多镀层厚度标准仍存在溯源精度低、量值不统一等问题。Flexfilm探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的表面台阶高度与膜厚，为材料质量把控和生产效率提升提供数据支撑。本研究基于真空镀膜技术和单镀层溯源方法，成功研制出单基

  仪器 测量 217浏览量

• 椭偏仪常见技术问题解答（二）2025-10-10 18:05

  

  椭偏仪是一种基于椭圆偏振分析的光学测量仪器，通过探测偏振光与样品相互作用后偏振态的变化，获取材料的光学常数和结构信息。Flexfilm全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精度表征，广泛应用于薄膜材料、半导体和表面科学等领域。1光谱椭偏法如何测定折射率?flexfilmΨ的振荡具有特定的振幅除了厚度信息，数据振荡的形状取决于薄膜的折射率。Ψ的振荡曲线

  仪器 光学测量 193浏览量

• 台阶仪/椭偏仪在不同半导体关键工序中的计量技术与应用2025-09-29 18:05

  

  随着半导体技术向高集成度与高性能方向不断发展，工艺尺寸持续缩小，制造工艺对膜厚、线宽、台阶高度及电阻率等关键参数的测量精度提出了更高要求。然而，半导体测量设备在实际应用中面临量值溯源体系不完善、测量结果不一致等突出问题，直接影响工艺控制的准确性与器件性能的可靠性。Flexfilm探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的表

  半导体 测量 766浏览量

• 椭偏仪常见技术问题解答（一）2025-09-26 18:04

  

  椭偏仪是一种基于椭圆偏振分析的光学测量仪器，通过探测偏振光与样品相互作用后偏振态的变化，获取材料的光学常数和结构信息。Flexfilm全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精度表征，广泛应用于薄膜材料、半导体和表面科学等领域。1椭偏仪测量什么?flexfilm椭偏仪利用偏振光来表征薄膜和块体材料。当光与样品结构相互作用时，其偏振状态会发生变化。测量结

  仪器 光学 测量仪器 545浏览量

• 汽车玻璃可见光透射率VLT标准70%：关乎道路安全的关键指标2025-09-24 18:02

  

  在国际窗膜协会澳大利亚分会（IWFAA）的持续游说下，澳大利亚多地已允许将汽车前侧窗的可见光透射率（VLT）标准从70%降至35%，以期实现全国规范统一。然而，这一提议引发了重要的道路安全隐患：前侧窗作为驾驶员观察侧向交通、识别行人及骑行者的关键视觉通道，其透光率的大幅降低将直接削弱在夜间、低光照或复杂路况下的视觉识别能力。Flexfilm汽车玻璃透过率检测

  vlt 检测仪 汽车 666浏览量

• 从数据到模型：台阶仪如何实现高精度微结构测量2025-09-22 18:05

  

  为解决台阶仪在微结构测量中的点云配准精度不足、系统误差难补偿及传统校准离散、导轨误差大等问题，费曼仪器致力于为全球工业智造提供提供精准测量解决方案，Flexfilm探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的表面台阶高度与膜厚，为材料质量把控和生产效率提升提供数据支撑。本研究提出融合增强型ICP与SIL的表面匹配方法，辅以多

  仪器 测量 精密测量 479浏览量

• 基于光谱椭偏术的多层结构介质衍射光栅表征研究2025-09-19 18:03

  

  在集成光学与光子器件研究中，介电衍射光栅是耦合布洛赫表面波等导模的关键元件，但其亚微米尺度的几何参数难以通过显微技术精确表征。Flexfilm全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精度表征，广泛应用于薄膜材料、半导体和表面科学等领域。本研究采用光谱椭偏术（SE）对制备于布洛赫表面波（BSW）支撑多层结构上的亚微米周期介质光栅进行光学表征与建模，在建模

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