Flexfilm文章

• 椭偏仪在HfO₂薄膜光学常数测量中的应用2026-06-03 18:02

  

  随着光电技术的发展，光学薄膜不仅需要良好的光学性能，还需具备电磁屏蔽、激光防护等特性。在众多膜料中，氧化物因硬度高、性能稳定而备受青睐。其中，HfO₂薄膜具有透射范围宽、折射率高、禁带宽度大、激光损伤阈值高等优点，广泛应用于日盲紫外滤光片、增透膜、高反膜、分光膜及抗激光薄膜等领域。研究表明，以金属铪为原料制备的HfO₂薄膜缺陷密度低、抗激光损伤能力强。然而，

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• 台阶仪在硅槽刻蚀速率及片内均匀性测试中的应用2026-06-01 18:04

  

  在MEMS压力传感器中，应力敏感薄膜的制备精度直接影响器件性能。该薄膜通常通过湿法硅深槽刻蚀工艺实现，而刻蚀深度及均匀性决定了薄膜厚度的可控性。Flexfilm费曼仪器探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的表面台阶高度与膜厚，为材料质量把控和生产效率提升提供数据支撑。本研究选用四甲基氢氧化铵（TMAH）溶液作为刻蚀液，

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• 椭偏仪在渐变纳米膜中的应用：厚度梯度测量2026-05-29 18:03

  

  随着5G通信技术的发展，手机后盖逐渐采用玻璃、陶瓷等非金属材料。渐变色外观成为提升产品美感的重要手段，其核心原理是在溅射镀膜过程中控制玻璃基片不同区域的薄膜厚度，形成递增或递减的梯度变化，利用光的反射、折射和干涉效应，使不同厚度区域呈现不同颜色。Flexfilm费曼仪器全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精度表征，广泛应用于薄膜材料、半导体和表面科

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• 台阶仪在机器视觉中的应用：异质结人工突触器件的厚度表征2026-05-27 18:05

  

  机器视觉是人工智能的重要技术方向，但现有系统通常假设输入信号是理想化的，在真实复杂环境中容易出现高置信度的错误判断，且缺乏预警机制。同时，传统架构中传感器、存储器和处理器相互分离，导致功耗高、延迟大。因此，研究人员尝试将感知、存储和处理功能集成到单一器件中，模仿生物视觉系统的高效工作方式。Flexfilm费曼仪器探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关

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• 椭偏光学在气体传感中的应用：基于SnO₂/多孔硅异质结构的有机化合物检测2026-05-25 18:04

  

  气体检测在工业、环境和医疗领域至关重要，但传统金属氧化物半导体（如SnO₂）气体传感器存在工作温度高、选择性差的瓶颈问题，制约其低功耗应用。Flexfilm费曼仪器全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精度表征，广泛应用于薄膜材料、半导体和表面科学等领域，在材料光学特性分析领域具有重要地位。本研究构建了SnO₂/多孔硅异质结构，利用多孔硅的高比表面积

  传感器 光学 检测 217浏览量

• 探针式台阶仪三种典型软故障：位置偏移、针尖沾污、测力异常的调修方法2026-05-22 18:04

  

  在集成电路与MEMS工艺中，台阶高度是衡量器件质量的核心参数之一。当前半导体产线广泛使用接触式台阶仪，其原理是让金刚石触针沿样品表面滑行，由位移传感器将垂直位移转为电信号，经A/D转换后生成台阶轮廓。这套方法测量范围宽、分辨力高，但触针与样品直接接触，测量力在软材料上会留下痕迹，长期运行中各种故障难以避免。Flexfilm费曼仪器探针式台阶仪可以实现表面微观

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• 深度学习椭偏术（DLE）：光学常数、薄膜结构和带隙的超快高精度确定2026-05-20 18:04

  

  光谱椭偏术是表征薄膜光学常数（折射率n、消光系数k）、厚度和带隙的重要手段，但传统数据分析依赖专家手动建模，耗时长且门槛高。近年来，基于深度学习的椭偏术（DLE）开始兴起，但早期方法存在明显局限：直接转换法难以处理复杂吸收特征，迭代法则需要额外测量透射/反射光谱，测量时间长达数十分钟。Flexfilm费曼仪器全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精度

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• 薄膜铌酸锂光波导 vs. 传统铌酸锂波导：基于台阶仪的波导刻蚀深度与损耗差异分析2026-05-18 18:02

  

  随着光子集成技术（PIC）的发展，复杂光波导（如Y分支、S弯曲）成为实现器件微型化的关键，但传统铌酸锂体材料折射率差小、光束缚弱，而薄膜铌酸锂（LNOI）虽平台优良却因硬度大、化学惰性强，导致光刻与刻蚀工艺中特征尺寸难以控制、传输损耗较高。Flexfilm费曼仪器探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的表面台阶高度与膜厚

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• 光谱椭偏仪SE：光学常数nk、薄膜厚度与数据分析2026-05-15 18:04

  

  光谱椭偏术（SpectroscopicEllipsometry,SE）是一种非侵入式光学表征技术，通过测量光与样品相互作用后偏振态的变化，获取薄膜厚度（t）、折射率（n）和消光系数（k）等关键参数。Flexfilm费曼仪器全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精度表征，广泛应用于薄膜材料、半导体和表面科学等领域,在材料光学特性分析领域具有重要地位。本

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• 半导体晶圆表面缺陷类型及测量技术：台阶仪 VS. 光学测量2026-05-13 18:04

  

  在半导体制造过程中，晶圆表面质量直接影响器件性能、可靠性以及最终良率。随着先进制程不断向更小线宽、更高集成度发展，晶圆表面缺陷控制已经成为影响工艺稳定性的重要环节。Flexfilm费曼仪器探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的表面台阶高度与膜厚，为材料质量把控和生产效率提升提供数据支撑。从晶体生长、外延、光刻、刻蚀，到

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