不只一台刻蚀机 燕东微北京8英寸项目搬入多台北方华创设备

近日，燕东微北京8英寸项目首批设备搬入，而北方华创制造的刻蚀机作为首台设备搬入厂房。

据北方华创官方最新消息，除首台搬入的等离子硅刻蚀机外，北方华创即将搬入的设备，还包含多晶硅刻蚀机、金属刻蚀机、深硅刻蚀机、磁控溅射PVD、高温扩散炉、中温氧化炉、湿法清洗机、湿法去胶机等设备。

据悉，燕东微电子8英寸集成电路研发产业化及封测平台项目是北京首条大规模量产8英寸的集成电路产线，总投资48亿元，于2016年9月27日正式启动。其芯片生产厂房包含一条月产5万片（25次光刻）0.25um-0.09um（典型工艺为0.11um)、BCD兼容工艺的8英寸芯片生产线。未来拟生产产品包括显示驱动电路、功率器件、封测产品等。同时，项目通过与国际顶尖驱动电路、功率器件厂商合作，将建成国内技术最先进的特色工艺产线。

为推进该项目的建设，燕东微电子还于2018年1月发布增资项目，2018年6月正式敲定增资方案，大基金联合三家国企斥资28亿实施入股，电子城等还通过非公开渠道再投资12亿元。

燕东微电子隶属北京电子控股有限责任公司旗下，后者由北京市电子工业办公室转制而来，目前是北京市国资委授权的以电子信息产业为主业的国有特大型高科技产业集团。

公开信息显示，燕东微电子成立于1987年，是一家专业化的半导体器件芯片设计、制造、销售的全资国有高科技企业。目前，燕东微电子的客户涵盖了包括苹果、华为、小米等用户在内的客户群体。