中科九微半导体设备智能制造项目正式开工 总投资约28亿元

随着国内大力发展半导体产业，近两年来不断有晶圆制造、材料等重大项目密集上马，唯独设备业鲜有消息，不过近日传来喜讯，中科九微半导体设备智能制造项目在四川南充启动。

11月19日，中科九微科技有限公司半导体设备智能制造项目举行奠基仪式，宣布项目正式开工。项目于今年9月在西博会上签约，重点针对半导体装备和核心部件的需求，打造一条集研发、设计、精密制造、营销和服务一体化的产业链。

该项目总投资28亿元，占地约290亩，将研发、生产半导体晶圆片生长设备、刻蚀设备、薄膜沉积设备的核心部件和各种传感器、控制电源等产品，并配建专家人才公寓、职工宿舍，预计2019年竣工投入使用，项目建成达产后预计可实现年销售收入约50亿元。

中科九微成立于今年9月7日，由九川科技集团、中国科学院微电子所等共同设立，是中国科学院微电子所和九川科技集团合作的重点项目，其中中国科学院微电子所占股20%。

九川科技集团是一家以生产高低压成套、输配电设备、超高压变压器、机床电器、电工建筑电器、元器件、电线电缆和数控机床等为主的大型现代化制造业集团企业，而中国科学院微电子所则为半导体业界所熟知。

中国科学院微电子所前身为成立于1958年的原中国科学院109厂，后与中国科学院半导体研究所、计算技术研究所有关研制大规模集成电路部分合并，国内微电子领域学科方向布局最完整的综合研究与开发机构、国家科技重大专项集成电路装备及工艺前瞻性研发牵头组织单位等。

多年来，中国科学院微电子所在设备研发领域积累了不少经验和IP，为中国设备公司提供支持，2017年开发了系列原子层沉积设备8个系列，推广应用到近50家科研机构及企业。

九川科技集团拥有设备制造基础，如今与中国科学院微电子携手合作，将有望推进国内半导体设备国产化进程。