中微公司华南总部研发及生产基地项目开工

中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”，股票代码：688012）今日于广州市增城经济技术开发区隆重举办开工仪式，宣布其旗下的华南总部研发及生产基地项目正式开工启动。随着中微半导体设备（广州）有限公司（以下简称“中微广州”）的蓬勃发展以及广州研发及生产基地建设的启动，中微公司将进一步增强产品研发与先进制造能力，全面深化在半导体及泛半导体产业链的战略布局，持续巩固其在全球高端半导体设备领域的领先地位。

本次活动得到了各级政府的大力支持，季华实验室、国家新型显示技术创新中心等科研院所代表以及众多业界合作伙伴出席活动，与中微公司管理团队及员工代表共同见证这一里程碑时刻。

芯屏并举，粤启新程，中微公司华南总部研发及生产基地总体规划占地约130亩，此次开工建设的一期项目占地约50亩，预计2026年年底建成，2027年计划投产。基地建成后将聚焦大平板显示设备领域的研发与生产，并将逐步拓展至智能玻璃、板级封装等其他新兴平板微观加工技术领域。随着中微公司华南总部研发及生产基地的建设启动，将为公司不断提升研发及生产能力提供有力保障，也将为区域经济发展注入强劲新动能。

中微公司自2004年成立以来，一直致力于开发和提供等离子体刻蚀、化学薄膜、量检测等微观加工所需的高端关键设备。公司在过去14年保持营业收入年均增长大于35 %。 在2024年比2023年年销售增长 44.7 % 的基础上，2025年上半年营业收入继续保持高速增长，同比增长43.9 %，达到49.61亿元。

公司持续加大研发力度，2025年上半年研发投入达到14.92亿元，同比增长约53.70%， 研发投入占公司营业收入比例约为30.07%，远高于科创板上市公司的平均研发投入水平。公司目前在研项目涵盖六大类设备、二十多款新产品的开发；在泛半导体微观制造领域，中微公司不断拓展产品布局，包括新一代TSV深硅刻蚀设备和PVD及CVD设备，大平板显示技术，智能玻璃和玻璃基板的大平板设备领域所需的薄膜设备及等离子体刻蚀设备等众多产品。

谈及平板设备业务的发展，中微公司集团副总裁、中微广州公司总经理张凯表示，广州研发及生产基地项目的启动，彰显了中微公司依托半导体设备领域的深厚基础，跨界发展、迅速开拓新兴应用领域的强大能力，同样也体现了广东各级政府创新的工作思路和务实的工作作风，大大加速了中微公司产品研发及成功产业化的进程。

活动现场，中微公司董事长兼总经理尹志尧博士在致辞中表示，数码产业是现代工业和国民经济发展的引擎，集成电路和各种微观器件是数码产业的核心。目前公司的三十多种设备已经覆盖半导体高端设备的25%到30%，在今后的五到十年，公司计划通过有机生长和外延扩展，逐步覆盖半导体高端设备的50%到60%，发展成为平台型的集团公司。广州研发及生产基地项目的启动，是中微公司深入推进“三维发展”战略的重要实践，将为公司多元化布局和实现高质量发展打下坚实的基础。希望中微广州扎根南粤大地，持续创新突破，深入贯彻“五个十大”的企业文化，与粤港澳大湾区的科研机构、高校及产业链上下游企业开展更深入的合作，为半导体及泛半导体产业的发展和广东地区的科技创新和经济建设做出卓越贡献。

攀登勇者，志在巅峰。中微公司将瞄准“打造世界级装备企业”战略目标，不断加大研发力度，持续夯实公司在高端微观加工设备领域的核心竞争力，秉承“五个十大”的企业文化，即“产品开发十大原则”、“战略销售十大准则”、“营运管理十大章法”、“精神文化十大作风”和“领导能力十大要点”，坚持三维立体发展战略，坚持有机生长和外延扩展的策略，实现高速、稳定、健康和安全的高质量发展，力争尽早成为高端设备平台化公司，在规模上和竞争力上成为国际一流的半导体设备公司！

关于中微半导体设备（上海）股份有限公司

中微半导体设备（上海）股份有限公司（证券简称：中微公司，证券代码：688012）致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微公司开发的CCP高能等离子体和ICP低能等离子体刻蚀两大类、包括二十几种细分刻蚀设备已可以覆盖大多数刻蚀的应用。中微公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国内和国际一线客户，从65纳米到5纳米及更先进工艺的众多刻蚀应用。中微公司最近十年着重开发多种导体和半导体化学薄膜设备，如MOCVD，LPCVD，ALD和EPI设备，并取得了可喜的进步。中微公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备早已在客户生产线上投入量产，并在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据领先地位。此外，中微公司已全面布局光学和电子束量检测设备，并开发多种泛半导体微观加工设备。这些设备都是制造各种微观器件的关键设备，可加工和检测微米级和纳米级的各种器件。这些微观器件是现代数码产业的基础，它们正在改变人类的生产方式和生活方式。在美国TechInsights（原VLSI Research）近五年的全球半导体设备客户满意度调查中，中微公司四次获得总评分第三，薄膜设备四次被评为第一。