中微公司2025年营收123.85亿元，同比增长36.62%

2026年3月30日晚间，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）正式披露2025年年度报告，全年实现营业收入123.85亿元，同比增长36.62%，归母净利润为21.11亿元，同比增长30.69%。

一、刻蚀设备：核心业务稳中求进

作为中微公司的传统优势业务，刻蚀设备在2025年继续发挥“压舱石”作用。报告显示，公司刻蚀设备全年实现销售收入98.32亿元，同比增长35.12%，占全年营收的近八成。这一成绩的取得，得益于中微公司在刻蚀技术领域的深厚积累和持续创新。

截至2025年底，中微公司刻蚀设备反应台全球出货量已超过6800台，应用范围覆盖65纳米至3纳米及更先进制程的各类刻蚀场景。在国内主要客户芯片生产线的市占率持续稳步提升，显示出公司产品的强大市场竞争力。特别是自主研发的CCP高能等离子体刻蚀设备和ICP低能等离子体刻蚀设备，已实现对95%以上的300多种刻蚀应用需求的覆盖，成为公司刻蚀业务增长的重要引擎。

其中，60比1超高深宽比刻蚀设备在存储器生产线上实现稳定可靠的大批量生产，使中微公司成为国内极少数能够全面覆盖存储器刻蚀应用中各类超高深宽比需求的供应商。此外，ICP双台机的重复性和匹配精度达到皮米级控制水平，核心工艺指标再攀新高，进一步巩固了公司在刻蚀技术领域的领先地位。

二、薄膜设备：爆发式增长成新引擎

在刻蚀设备业务稳步增长的同时，中微公司的薄膜沉积设备业务在2025年迎来了爆发式增长。报告显示，公司薄膜沉积设备全年实现销售收入5.06亿元，同比大增224.23%，成为驱动公司业绩增长的重要新引擎。

近年来，中微公司将各类薄膜沉积设备的开发和导入市场作为聚焦重点，以行业领先的研发速度，在短时间内成功开发出十几种导体和介质薄膜核心设备。多款产品实现技术与市场的双重突破，补齐了业务发展短板，打开了更大成长空间。特别是LPCVD设备，累计出货量已突破300个反应台，多款产品已获重复性订单，显示出强大的市场潜力。

薄膜设备的高速增长，不仅得益于公司对技术研发的持续投入，更得益于对市场需求的精准把握。随着人工智能、云计算、自动驾驶等新兴应用的加速落地，芯片制造向更先进制程迈进，薄膜沉积设备作为关键工艺环节之一，市场需求持续升温。中微公司凭借其在薄膜设备领域的技术积累和市场布局，成功抓住了这一市场机遇，实现了业务的快速增长。

三、研发投入：创新驱动下的技术突破

中微公司之所以能够在半导体设备领域取得如此显著的成绩，离不开其对技术研发的持续高投入。报告显示，2025年公司研发投入达37.44亿元，同比增长52.65%，占营业收入比重超过30%，远高于科创板上市公司10%到15%的平均水平。

高强度的研发投入推动了公司产品迭代速度的显著提升。新设备开发周期从传统的3至5年缩短至2年以内，大大加快了公司产品的市场导入速度。目前，中微公司正在推进六大类、超20款新设备的研发工作，涵盖新一代CCP高能等离子体刻蚀设备、ICP低能等离子体刻蚀设备、晶圆边缘刻蚀设备、LPCVD及ALD薄膜设备、硅和锗硅外延EPI设备等多个核心领域。

此外，中微公司还通过自主研发与外延并购相结合的方式，加速完善业务布局。2025年底，公司发起对杭州众硅的收购，切入湿法工艺领域，填补了公司在湿法设备领域的空白。通过本次交易，中微公司将成为具备“刻蚀+薄膜沉积+量检测+湿法”四大前道核心工艺能力的厂商，成功实现从“干法”向“干法+湿法”整体解决方案的关键跨越。

四、市场布局：全球化视野下的稳健拓展

在市场布局方面，中微公司坚持全球化视野，稳健拓展国内外市场。报告显示，2025年公司大陆地区营业收入同比增长40.07%至120.58亿元，成为公司营收增长的主要增量来源。这主要得益于国内半导体产业的快速发展和国产替代进程的加速推进。

同时，中微公司也积极拓展海外市场，尽管台湾地区及其他国家和地区收入同比有所下滑，但公司通过不断提升产品质量和服务水平，加强与国际知名客户的合作，为未来的海外市场拓展奠定了坚实基础。